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产品中心三维光学轮廓仪BEUKER白光干涉光学轮廓仪BEUKER白光干涉仪：表面测量的可靠工具
产品简介
BEUKER白光干涉仪：表面测量的可靠工具BEUKER白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术，适用于微纳米级表面形貌分析。其光学系统基于白光干涉原理，可清晰呈现样品表面的三维形貌，适用于半导体、光学元件、精密加工等领域。
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产品性能
•测量范围：0.1nm至10mm（垂直方向）
•横向分辨率：最高可达0.5μm
•重复性：优于0.1%
•支持多种测量模式：台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材与结构
仪器主体采用高稳定性铝合金框架，光学部件选用低热膨胀系数玻璃，确保长期测量稳定性。载物台采用防震设计，减少环境振动干扰。
参数表
型号 | 垂直分辨率 | 最大扫描范围 | 适用样品 |
|---|---|---|---|
BWI-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
BWI-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微结构 |
用途
•半导体晶圆检测
•光学镜面质量分析
•MEMS器件形貌测量
•精密机械加工表面评估
使用说明
1.开机预热10分钟，确保系统稳定。
2.放置样品于载物台，调整焦距至干涉条纹清晰。
3.选择测量模式，设定扫描参数。
4.软件自动分析数据，生成3D形貌图及关键参数。
BEUKER白光干涉仪：表面测量的可靠工具