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BEUKER光学轮廓仪：高效测量微纳结构BEUKER三维测量白光干涉光学轮廓仪为微纳尺度表面检测提供高效解决方案。其模块化设计支持灵活配置，满足多样化测量需求
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布鲁克白光干涉光学轮廓仪产品特点
快速扫描：单次测量时间小于3秒，适合批量检测。
多模式分析：支持白光干涉和共聚焦模式切换，适应不同反射率样品。
布鲁克三维测量白光干涉光学轮廓仪关键参数
垂直分辨率：0.1nm
最大视场：5mm×5mm
重复性误差：<1%
布鲁克三维测量白光干涉光学轮廓仪型号推荐
BKI-250：经济实用型，适合教学与小规模检测。
BKI-350：工业级配置，抗振动干扰能力强。
布鲁克三维测量白光干涉光学轮廓仪应用领域
半导体晶圆缺陷检测
MEMS器件形貌分析
光学镀膜均匀性评估
操作指南
清洁样品表面以避免杂散光干扰。
根据样品特性选择干涉或共聚焦模式。
使用校准片定期进行设备校验。
布鲁克白光干涉光学轮廓仪：高效测量微纳结构