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ZYGO白光干涉仪解锁微纳形貌的工业级光学ZYGO白光干涉光学轮廓仪以相干扫描干涉（CSI）技术为核心，通过非接触式测量实现亚纳米级表面形貌分析。抗振技术可在未配备气浮隔振台的环境中，将振动对测量的影响降低95%以上，
ZYGO白光干涉光学轮廓仪以相干扫描干涉技术为核心，通过非接触式测量实现亚纳米级表面形貌分析。其SureScan抗振技术可在未配备气浮隔振台的环境中，将振动对测量的影响降低95%以上，确保垂直分辨率稳定在0.1nm至0.15nm区间。设备支持从2.5×到100×的多倍率物镜切换，搭配1024×1024像素CMOS传感器，可在5-15秒内完成单次扫描，横向采样密度达0.17μm/点，满足从微米级宏观结构到纳米级微观缺陷的全尺度检测需求。ZYGO白光干涉仪解锁微纳形貌的工业级光学
光学系统：采用长寿命白光LED光源（寿命＞50,000小时）与高数值孔径干涉物镜，配合抗反射镀膜技术，确保光路稳定性与低散射噪声。
机械结构：主体框架选用航空级铝合金，经精密CNC加工与应力释放处理，搭配分立龙门架构设计，支持通过标准垫块附件抬升测试头以检测超高样品（最大高度可达300mm）。
软件平台：基于Windows系统的Mx™软件提供交互式3D绘图、量化形貌分析、SPC统计质量控制及自动化脚本编程功能，支持ISO 25178标准下的200余种表面参数输出。
| 型号 | ZeGage™ Pro | NewView™ 9000 | NexView™ NX2 |
|---|---|---|---|
| 表面形貌重复性 | ≤0.35nm（1σ） | ≤0.08nm（1σ） | ≤0.06nm（1σ） |
| 纵向扫描范围 | 0-150μm | 0-150μm（压电陶瓷闭环控制） | 0-150μm（压电陶瓷闭环控制） |
| 样品台配置 | 手动XY平移（50×100mm） | 可选5轴自动调整（Z/XY/Tip-Tilt） | 标配5轴自动调整（Z/XY/Tip-Tilt） |
| 典型应用场景 | 精密机械表面粗糙度检测 | 半导体晶圆减薄工艺分析 | 光学镀膜超光滑表面量测 |
半导体制造：检测8英寸晶圆减薄后的表面粗糙度与镭射槽深宽比。
操作步骤：将晶圆固定于真空吸附盘→选择20×物镜→启动SureScan™模式→通过Mx™软件自动拼接测量直径φ200mm区域。
光学镀膜分析：测量AR镀膜厚度均匀性与界面粗糙度。
操作步骤：切换至透明膜测量模式→调整光源波长至550nm→通过反射率曲线拟合计算膜厚。
MEMS器件检测：评估微结构侧壁垂直度）与表面缺陷尺寸。
操作步骤：使用45°倾斜照明模块→设置阈值分割参数→自动识别划痕/颗粒缺陷。
ZYGO白光干涉仪通过模块化设计实现“一机多用"。例如，在太阳能电池检测中，NewView™ 9000可同步完成绒面金字塔结构尺寸分析与栅线电度测量，单台设备替代传统三台仪器，降低实验室空间占用与维护成本超40%。其SureScan™技术更使设备可直接部署于生产车间，无需改造环境，投资回报周期缩短至12个月内。
ZYGO白光干涉仪解锁微纳形貌的工业级光学