ZYGO白光干涉仪光学之力重塑工业检测标准

技术亮点与性能突破

ZYGO白光干涉仪光学之力重塑工业检测标准 ZYGO白光干涉仪突破传统设备的局限性，采用动态相位锁定技术与自适应光程补偿算法，实现三大核心优势：

• 超宽动态范围：支持0.1nm-200μm的垂直测量跨度，无需切换设备即可检测从原子级平整表面到微米级沟槽结构。

• 智能环境适应：内置温度漂移补偿模块（精度±0.01℃/h）与SureScan™振动抑制技术，确保车间环境下的测量稳定性。

• 多模态分析：集成共聚焦显微模块与偏振干涉选项，可同步获取表面形貌、膜层应力与晶体取向信息。

硬件配置与材料选型

• 光源系统：定制化白光LED阵列（色温6500K），配合可调谐滤波器实现波长范围400-1000nm连续调节。

• 探测器：1024×1024像素CMOS相机（帧率120fps），支持HDR模式下的高动态范围成像。

• 运动控制：闭环直线电机驱动XY平台（重复定位精度±0.1μm），搭配纳米级压电陶瓷Z轴（分辨率0.01nm）。

典型应用案例库

操作流程简化设计

1. 一键式校准：通过内置标准样块（台阶高度100nm±0.5nm）自动完成系统标定，耗时＜2分钟。

2. 智能路径规划：Mx™软件根据样品尺寸自动生成扫描轨迹，避免重复测量与边缘效应。

3. 云端数据管理：支持与ZYGO LABSUITE平台无缝对接，实现测量数据实时上传与多终端共享。

维护与售后服务体系

• 模块化维护：光学头、运动平台等核心部件采用快速插拔设计，现场更换时间＜30分钟。

• 预防性维护：通过IoT模块远程监控设备状态，提前预警光源衰减、电机磨损等潜在故障。

• 全球服务网络：在美国、中国、德国等30个国家设立技术中心，提供72小时内响应的现场支持服务。

型号扩展与定制能力

• ZeGage™系列：紧凑型设计（主机尺寸82×53×53cm），支持桌面化部署，适用于中小批量检测场景。

• NewView™系列：分立龙门架构支持超大样品检测（最大高度300mm），标配5轴自动样品台，满足半导体、光学行业的高精度需求。

• NexView™系列：集成True Color™彩色3D成像技术，可直观呈现样品表面纹理与缺陷分布，适用于消费电子、汽车行业的品质管控。

ZYGO白光干涉仪以“高适应性、易操作、低维护"为核心设计理念，帮助用户将微纳检测从专业实验室延伸至量产产线，为智能制造提供可靠的质量控制手段。其开放式的API接口更支持与SECS/GEM、MES系统集成，助力企业实现工业4.0转型。ZYGO白光干涉仪光学之力重塑工业检测标准