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PRODUCTS CNTERZYGO白光干涉仪:高精度表面轮廓测量ZYGO白光干涉光学轮廓仪为精密制造行业提供可靠的表面测量方案,支持快速、非接触式检测,提升质量控制效率。
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ZYGO白光干涉光学轮廓仪 ZYGO白光干涉仪ZYGO白光干涉仪采用非接触式测量技术,适用于多种材料表面的三维形貌测量。其非接触式测量方式避免了对样品的物理损伤,适用于多种材料和复杂表面的测量。设备支持多种样品台和自动聚焦功能,便于灵活调整测量参数 ZYGO白光干涉仪:高精度表面轮廓测量
产品性能
•测量范围:0.1nm至10mm(垂直方向)
•横向分辨率:最高可达0.5μm
•重复性:优于0.1%
•支持多种测量模式:台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材与结构
仪器主体采用高稳定性铝合金框架,光学部件选用低热膨胀系数玻璃,确保长期测量稳定性。载物台采用防震设计,减少环境振动干扰。
参数表
型号 | 垂直分辨率 | 最大扫描范围 | 适用样品 |
---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微结构 |
用途
•半导体晶圆检测
•光学镜面质量分析
•MEMS器件形貌测量
•精密机械加工表面评估
ZYGO白光干涉仪:高精度表面轮廓测量 ZYGO白光干涉光学轮廓仪