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ZYGO白光干涉仪:高精度光学测量

产品简介

ZYGO白光干涉仪:高精度光学测量
ZYGO白光干涉光学轮廓仪为精密制造行业提供可靠的表面测量方案,支持快速、非接触式检测,提升质量控制效率。

产品型号:
更新时间:2025-08-25
厂商性质:代理商
访问量:45
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ZYGO白光干涉光学轮廓仪 ZYGO白光干涉仪ZYGO白光干涉仪采用闭环反馈压电陶瓷和高线性电容传感器,确保测量的稳定性和重复性。设备支持多种物镜选择,适用于不同放大倍率和工作距离的需求。设备操作简便,支持多种软件分析工具,便于用户快速完成测量和分析 ZYGO白光干涉仪:高精度光学测量

产品性能

  • 测量范围:0.1nm至10mm(垂直方向)

  • 横向分辨率:最高可达0.5μm

  • 重复性:优于0.1%

  • 支持多种测量模式:台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材与结构

仪器主体采用高稳定性铝合金框架,光学部件选用低热膨胀系数玻璃,确保长期测量稳定性。载物台采用防震设计,减少环境振动干扰。

参数表

型号

垂直分辨率

最大扫描范围

适用样品

ZYGO-200

0.1nm

1mm

光滑表面、薄膜

ZYGO-500

0.2nm

10mm

粗糙表面、微结构

用途

  • 半导体晶圆检测

  • 光学镜面质量分析

    MEMS器件形貌测量

  • 精密机械加工表面评估

ZYGO白光干涉仪:高精度光学测量 ZYGO白光干涉光学轮廓仪






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