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产品简介
Sensofar三维共聚焦轮廓仪多技术表面测量Sensofar S neox三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪采用模块化设计，集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面叠加四种测量模式。
产品分类
产品细节
Sensofar S neox三维共聚焦白光干涉光学轮廓仪采用模块化设计，集成共聚焦、白光干涉、相位差干涉及AI多焦面叠加四种测量模式。传感器头内置高速高分辨率黑白CCD摄像头（2442×2048像素，60fps）与彩色摄像头，支持实时彩色成像与高对比度深度编码。设备配备6位电动鼻轮，可快速切换物镜（5×、20×、100×共聚焦物镜，10×、20×干涉物镜），适应不同测量需求。Sensofar三维共聚焦轮廓仪多技术表面测量
产品性能
速度：数据采集速度达180帧/秒，典型三维图像获取仅需3秒，较传统设备效率提升5倍。
精度：共聚焦模式横向分辨率0.10μm，Z轴重复性达纳米级；白光干涉模式纵向分辨率稳定在纳米级，支持粗糙表面测量。
稳定性：无运动部件设计减少机械误差，LED光源寿命长达50,000小时，避免激光散斑干扰。
用材与参数表
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 测量范围 | Z轴：0.1nm-34mm；XY平台：125mm×75mm |
| 最大拼接张数 | 10×12（500Mpx高分辨率模式） |
| 光源类型 | 四色LED（红、绿、蓝、白） |
| 适用表面斜率 | 光滑表面70°，粗糙表面86° |
型号与用途
型号：S neox
应用领域：半导体晶圆平整度检测、微电子器件表面形貌分析、精密加工刀具切削刃测量、医疗植入物表面纹理研究。
使用说明
样品放置：将样品置于XY平台，使用倾斜平台调平。
模式选择：通过SensoSCAN软件一键切换共聚焦、干涉或多焦面叠加模式。
参数设置：根据样品材质调整照明亮度与扫描范围，支持ISO 25178/4287标准粗糙度测量。
结果分析：利用SensoVIEW软件生成2D/3D视图，实时显示剖面线高度信息。
Sensofar三维共聚焦轮廓仪多技术表面测量