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认识布鲁克白光干涉光学轮廓仪白光干涉技术，作为一种非接触式的光学测量方法，为微观世界的表面形貌分析提供了有效工具。
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白光干涉技术，作为一种非接触式的光学测量方法，为微观世界的表面形貌分析提供了有效工具。布鲁克公司生产的白光干涉光学轮廓仪，基于此原理，通过分析参考镜与样品表面反射光产生的干涉条纹，来重建表面的三维形貌信息。认识布鲁克白光干涉光学轮廓仪
该仪器核心在于其光学系统。其光源通常采用长寿命的LED白光光源，提供稳定且色差小的照明。分光组件与高数值孔径的物镜精密配合，确保了干涉信号的高对比度。仪器主体结构多采用航空级铝合金材料，配合主动隔震系统，保证了在多种环境下的测量稳定性，有效隔离地面振动带来的噪声干扰。
在性能表现上，该设备能应对从超光滑到相当粗糙的各种表面。其垂直分辨率可达亚纳米级别，能够分辨出极其细微的高度差。横向分辨率则与所选物镜的放大倍率相关，使用高倍物镜时可达到微米量级。测量速度方面，得益于优化的算法和硬件，单次测量可在数秒内完成，适合进行多点统计性测量。
型号示例: ContourX系列
用途: 适用于研发与质量检测领域，如半导体、微机电系统、光学薄膜、材料科学等表面的三维形貌、粗糙度、台阶高度等参数测量。
使用简述: 操作通过电脑软件控制。将样品置于样品台上，选择合适倍率的物镜，在软件中调整光强和扫描范围，启动自动测量程序即可获取数据，并可进行后续分析。
简要参数参考:
垂直分辨率: < 0.1 nm
最大垂直扫描范围: 可达数毫米
物镜选项: 2.5X, 10X, 20X, 50X, 100X 等
平台移动范围: 依型号而定，通常为 100mm x 100mm 或更大
认识布鲁克白光干涉光学轮廓仪