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布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对复杂表面测量白光干涉技术，作为一种非接触式的光学测量方法，为微观世界的表面形貌分析提供了有效工具。
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在工业生产与科学研究中，待测样品表面往往具有复杂的特性，如高陡坡、透明薄膜或显著的反光差异，这对测量设备提出了要求。布鲁克白光干涉仪通过一系列技术设计，来应对这些挑战。布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对复杂表面测量
对于具有高深宽比或陡峭侧壁的结构，仪器的长工作距离物镜和特殊的抗散斑技术，能有效改善光斑质量，确保光线能进入结构底部并返回探测器，从而减少测量盲区。其先进的相位扫描分析算法，增强了在斜率变化较大区域的形貌还原能力。
在测量透明薄膜或多层结构时，可能会产生多重干涉信号，造成测量干扰。该设备的软件通常配备了专门的薄膜分析模块，能够识别并处理来自薄膜上下表面的信号，从而准确解析出薄膜的真实厚度或下层的形貌。
此外，面对高反光或低反光样品，仪器提供光强调节功能，并可选配偏振组件，以优化干涉信号，避免探测器饱和或信号过弱的情况，确保在不同材质样品上都能获得可用的测量数据。这种适应性使其在从金属、陶瓷到聚合物、生物样品等多种材料上都有应用空间。
型号示例: ContourX系列
用途: 适用于研发与质量检测领域，如半导体、微机电系统、光学薄膜、材料科学等表面的三维形貌、粗糙度、台阶高度等参数测量。
使用简述: 操作通过电脑软件控制。将样品置于样品台上，选择合适倍率的物镜，在软件中调整光强和扫描范围，启动自动测量程序即可获取数据，并可进行后续分析。
简要参数参考:
垂直分辨率: < 0.1 nm
最大垂直扫描范围: 可达数毫米
物镜选项: 2.5X, 10X, 20X, 50X, 100X 等
平台移动范围: 依型号而定，通常为 100mm x 100mm 或更大
布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对复杂表面测量