布鲁克白光干涉光学轮廓仪工作原理简述

白光干涉光学轮廓仪是一种非接触式的表面三维形貌测量工具。布鲁克公司的该系列产品，通过捕捉由参考镜和样品表面反射的光线所产生的干涉现象，来解析样品的微观高度信息。布鲁克白光干涉光学轮廓仪工作原理简述

其核心光学系统采用LED白光光源，发光稳定且寿命较长。精密的分光镜组与高性能物镜协同工作，确保了清晰的干涉条纹。仪器主体框架常使用金属材料，并集成主动隔震设计，有助于减弱环境振动对测量的干扰，保障了设备在多种条件下的稳定表现。

这类仪器能适应从光滑到粗糙的不同表面。其垂直方向的测量能力可以达到纳米尺度，用于分辨微小的表面起伏。横向分辨能力则与所选物镜的放大倍数相关联。凭借优化的硬件与算法，单次三维测量可以在较短时间内完成，方便进行重复性统计测量。

典型型号: ContourX-500

• 主要用途: 应用于半导体、材料科学、精密光学及微机电系统（MEMS）等领域，进行表面粗糙度、台阶高度、几何轮廓等参数的测量与分析。

• 使用简介: 通过计算机软件进行操作。放置样品后，选取合适的物镜，在软件界面中调整光路和扫描参数，即可启动自动测量并生成三维数据。

基础参数示例:

• 垂直分辨率: 优于0.1 nm

• 最大垂直量程: 5 mm

• 标配物镜: 5X, 10X, 20X, 50X

• 样品台行程: 100 x 100 mm

软件是其价值的核心体现。测量完成后，软件提供丰富的分析工具：

1. 三维形貌视图: 以直观的三维图像展示表面起伏。

2. 二维轮廓提取: 可在任意位置截取截面线，进行台阶高度、角度等尺寸量测。

3. 粗糙度分析: 依据国际标准（如ISO 25178），计算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度参数。

4. 体积分析: 用于分析磨损、腐蚀或材料的体积损失。

5. 统计与报表生成: 可对多次测量结果进行统计分析，并一键生成定制化的检测报告。

这些功能将原始的干涉数据转化为有价值的量化信息，为工艺改进和质量控制提供直接依据。布鲁克白光干涉光学轮廓仪工作原理简述