布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对材料表面测量

许多工业及科研样品表面复杂，可能存在高陡坡、多层薄膜或反射率差异大的区域。布鲁克白光干涉仪通过特定的技术设计来处理这些情况。布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对材料表面测量

对于具有高深宽比或陡峭侧壁的结构，仪器配备的长工作距离物镜和光路设计，有助于光线抵达特征底部并返回，从而改善了对复杂形貌的还原度。其增强的算法对斜率较大的区域也能进行有效的分析。

在测量晶圆上的透明薄膜或涂层时，可能会遇到多层干涉信号的干扰。设备提供的选配分析模块，能够辨识并区分这些信号，从而评估薄膜厚度或下层界面的形貌。

面对反射率过高或过低的样品，用户可调节光源强度，并可选择安装偏振附件来优化干涉效果，避免信号失真，使得在不同材质上都能获得较清晰的测量数据，扩展了其应用范围。

典型型号: ContourX-500

• 主要用途: 应用于半导体、材料科学、精密光学及微机电系统（MEMS）等领域，进行表面粗糙度、台阶高度、几何轮廓等参数的测量与分析。

• 使用简介: 通过计算机软件进行操作。放置样品后，选取合适的物镜，在软件界面中调整光路和扫描参数，即可启动自动测量并生成三维数据。

基础参数示例:

• 垂直分辨率: 优于0.1 nm

• 最大垂直量程: 5 mm

• 标配物镜: 5X, 10X, 20X, 50X

• 样品台行程: 100 x 100 mm

软件是其价值的核心体现。测量完成后，软件提供丰富的分析工具：

1. 三维形貌视图: 以直观的三维图像展示表面起伏。

2. 二维轮廓提取: 可在任意位置截取截面线，进行台阶高度、角度等尺寸量测。

3. 粗糙度分析: 依据国际标准（如ISO 25178），计算Sa, Sq, Sz等一系列粗糙度参数。

4. 体积分析: 用于分析磨损、腐蚀或材料的体积损失。

5. 统计与报表生成: 可对多次测量结果进行统计分析，并一键生成定制化的检测报告。

这些功能将原始的干涉数据转化为有价值的量化信息，为工艺改进和质量控制提供直接依据。布鲁克白光干涉光学轮廓仪应对材料表面测量