上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
服务热线
17701039158
产品中心
PRODUCTS CNTER
当前位置：首页
产品中心三维光学轮廓仪BEUKER白光干涉光学轮廓仪布鲁克白光干涉光学轮廓仪自动化检测分析
产品简介
布鲁克白光干涉光学轮廓仪自动化检测分析布鲁克白光干涉仪的应用范围覆盖了从前沿科学研究到工业化生产的多个环节。
产品分类
相关文章
许多工业及科研样品表面复杂，可能存在高陡坡、多层薄膜或反射率差异大的区域。布鲁克白光干涉仪通过特定的技术设计来处理这些情况。布鲁克白光干涉光学轮廓仪自动化检测分析
对于具有高深宽比或陡峭侧壁的结构，仪器配备的长工作距离物镜和光路设计，有助于光线抵达特征底部并返回，从而改善了对复杂形貌的还原度。其增强的算法对斜率较大的区域也能进行有效的分析。
在测量晶圆上的透明薄膜或涂层时，可能会遇到多层干涉信号的干扰。设备提供的选配分析模块，能够辨识并区分这些信号，从而评估薄膜厚度或下层界面的形貌。
面对反射率过高或过低的样品，用户可调节光源强度，并可选择安装偏振附件来优化干涉效果，避免信号失真，使得在不同材质上都能获得较清晰的测量数据，扩展了其应用范围。
提升检测效率和结果一致性是现代测量的一个方向。布鲁克白光干涉仪结合自动化硬件与软件分析功能，来支持这一需求。
仪器可搭载电动控制的样品台、自动切换的物镜转盘和自动对焦系统。用户能在软件中预先规划多个测量点位，设备随后按序自动执行所有检测，减少了人工操作，适用于批量检测或大样品的多区域统计。
其分析软件提供了多种数据处理工具：
三维形貌显示: 生成可视化的三维表面图。
二维轮廓分析: 提取任意位置的截面线，进行点、线尺寸的测量。
粗糙度参数计算: 依据相关标准，输出一系列表面粗糙度参数。
功能分析: 进行表面积、体积、孔隙率等分析。
报告生成: 将测量结果与数据导出生成定制化报告。
这些功能协助用户将测量数据转化为可用于工艺判断的量化信息。布鲁克白光干涉光学轮廓仪自动化检测分析