zygo白光干涉光学轮廓仪产品特点与应用​

Zygo白光干涉光学轮廓仪是一种用于表面形貌测量的高分辨率仪器，适用于微纳尺度结构的检测与分析。该设备采用非接触式测量方式，适用于半导体、光学元件、精密加工等领域。zygo白光干涉光学轮廓仪产品特点与应用 激光干涉仪  Zygo NewView 9000

ZYGO/翟科

产品细节与性能

Zygo白光干涉仪基于白光干涉原理，能够测量表面粗糙度、台阶高度、薄膜厚度等参数。其垂直分辨率可达亚纳米级，水平分辨率则取决于物镜的放大倍数。设备支持多种测量模式，包括相位扫描、垂直扫描和三维形貌重建。

用材与结构

仪器主体采用高稳定性材料，光学部件选用高质量透镜和反射镜，确保长期使用的稳定性。干涉仪的光源采用白光LED或卤素灯，可根据需求调整波长范围。

参数表（示例型号：Zygo NewView 9000）

• •垂直分辨率：<0.1 nm

• •水平分辨率：0.5 μm（视物镜而定）

• •测量范围：0.1 nm 至 10 mm

• •扫描速度：≤1 秒/帧

• •支持样品尺寸：最大 200 mm

用途

适用于半导体晶圆检测、MEMS器件测量、光学镜面抛光评估、精密机械加工表面分析等。

使用说明

1.开机预热10分钟，确保系统稳定。

2.选择合适物镜并校准参考镜。

3.放置样品，调整焦距至干涉条纹清晰。

4.启动测量软件，选择扫描模式并开始采集数据。

5.分析结果并导出报告。

zygo白光干涉光学轮廓仪产品特点与应用 激光干涉仪

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