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Zygo干涉仪在微纳测量中的优势Zygo白光干涉光学轮廓仪以其高分辨率和稳定性，在微纳制造领域得到广泛应用。
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Zygo白光干涉光学轮廓仪以其高分辨率和稳定性，在微纳制造领域得到广泛应用。Zygo干涉仪在微纳测量中的优势
产品细节
该设备采用白光干涉技术，可测量透明、半透明及不透明材料的表面形貌。其算法能够有效消除环境振动和噪声干扰，提高测量重复性。
性能特点
•支持多种物镜切换，适应不同放大需求。
•软件提供多种分析工具，如粗糙度计算、台阶高度统计等。
•可搭配自动载物台，实现批量样品检测。
参数表（示例型号：Zygo NewView 7300）
•垂直重复性：±0.02 nm
•最大扫描速度：50 μm/s
•视场范围：0.1×至50×可调
•数据输出格式：CSV、Excel、3D STL
用途
适用于LED芯片检测、生物医学器件测量、超精密加工表面评估等。
使用说明
1.安装并校准干涉仪。
2.选择测量区域并调整光强。
3.运行自动扫描，获取表面数据。
4.使用软件进行三维形貌重建与分析。Zygo白光干涉光学轮廓仪
Zygo干涉仪在微纳测量中的优势