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产品简介
Zygo光学轮廓仪的材料与参数解析Zygo白光干涉光学轮廓仪以其高分辨率和稳定性，在微纳制造领域得到广泛应用。
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Zygo白光干涉仪凭借其稳定的光学系统，适用于高精度表面测量。Zygo光学轮廓仪的材料与参数解析
产品细节
仪器采用模块化设计，可根据需求升级物镜、光源和软件功能。其光学系统经过优化，减少杂散光干扰，提高信噪比。
用材与工艺
•主体框架采用铝合金，轻量且抗震。
•光学镜片采用低膨胀系数玻璃，减少温漂影响。
•运动平台采用精密导轨，确保扫描稳定性。
参数表（示例型号：Zygo Nexview）
•垂直测量范围：1 nm 至 1 mm
•横向分辨率：0.3 μm（100×物镜）
•重复精度：±0.05 nm
•最大样品高度：50 mm
用途
适用于光学镀膜检测、微电子封装测量、精密模具表面分析等。
使用说明
1.开机后运行系统自检。
2.选择测量模式（单点、线扫描或面扫描）。
3.调整干涉对比度，优化测量效果。
4.保存数据并生成报告。
Zygo光学轮廓仪的材料与参数解析