ZYGO三款光学轮廓仪对比

ZYGO三款光学轮廓仪对比

ZYGO的ZeGage Pro、NewView 9000和Nexview NX2均基于成熟的CSI技术，但在设计理念和应用定位上各有侧重，为用户提供了不同层次的选择。

定位与设计对比：

• ZeGage Pro：定位为便捷式解决方案。一体式设计使其开箱即可使用，减少了复杂的配置过程，适合空间有限的生产线或需要快速部署的实验室。

• NewView 9000：定位为灵活可扩展的研发级平台。模块化设计允许用户根据未来需求升级系统功能，适用于多变的研究和开发环境。

• Nexview NX2：定位为专用型在线检测系统。其一切设计都围绕处理大尺寸晶圆和实现全自动化检测，专为半导体制造流程优化。

性能与用途对比：
三款仪器在核心测量能力（垂直分辨率、精度）上均表现出色，但扩展性和专长不同。

• ZeGage Pro：覆盖从光滑到粗糙表面的常规测量需求，胜任日常质检。

• NewView 9000：通过更换物镜和添加模块，可应对更广泛的样品类型和更复杂的分析任务，如薄膜应力。

• Nexview NX2：专注于半导体行业，其价值体现在全自动、大批量的晶圆处理和分析能力上，速度和自动化可靠性是关键。

选择建议：
用户应根据自身的样品尺寸、通量要求、检测环境（实验室或产线）以及未来需求来选择。对于常规质检，ZeGage Pro可能更为经济高效；对于前沿研发，NewView 9000提供更多可能性；而对于半导体产线，Nexview NX2则是经过市场验证的专业选择。

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