ZeGage Pro 3D光学轮廓仪

ZeGage Pro 3D光学轮廓仪

ZeGage Pro 是 ZYGO 公司推出的一款三维光学轮廓仪，专为高精度表面测量设计。该设备采用非接触式光学测量技术，无需样品制备，适用于多种表面类型，包括光滑、粗糙、平面、斜坡面等。其核心优势在于其高精度和稳定性，能够提供纳米级的表面形貌测量。

ZeGage Pro 采用计算机控制的4位物镜转台，支持区域测量，对待测件放置不敏感，测量结果稳定可靠。其纳米级的表面定量计量精度符合ISO 25178标准，适用于多种工业应用，如半导体、光学元件、精密机械加工等领域。设备操作简便，无需额外耗材，适合长期稳定运行。

ZeGage Pro 的高分辨率图形传感器可在短时间内完成快速面测量，提供表面细节成像，适用于多种工业场景。其抗震设计和非接触式测量技术，使其在振动环境中仍能保持高精度。该设备适合需要高精度、高稳定性的工业测量需求。

ZeGage Pro 的测量范围广泛，支持多种放大倍率和样品尺寸，适用于不同尺寸的样品测量。其自动化对焦和设置功能提升了测量效率，适合高精度、高稳定性的工业应用。设备支持多种附加模块，如透明薄膜测量和二维视觉分析，适用于多种特定需求。

ZeGage Pro 的高精度、高稳定性使其成为工业测量中的理想选择，适用于半导体、光学、精密制造等领域。其非接触式测量技术避免了传统接触式测量的磨损和误差，适合长期稳定运行。该设备在工业测量中具有广泛的应用前景，为高精度、高稳定性的测量需求提供了可靠的技术支持。

ZeGage Pro 3D光学轮廓仪