布鲁克ContourX-200三维表面测量的实用之选

布鲁克ContourX-200三维表面测量的实用之选

在工业研发与质量控制中，对材料表面进行三维形貌测量是一项常见需求。布鲁克公司的ContourX-200三维光学轮廓仪，为这一领域提供了一个值得考虑的选择。它基于相移干涉技术（PSI）和白光垂直扫描干涉技术（VSI），能够适应多种表面的测量任务。

从外观上看，ContourX-200结构紧凑，设计注重用户操作的便利性。其核心部件是一个集成化的光学头，内部包含了精密的光学系统和传感器。仪器基座和主要结构件采用了金属材料，保证了平台的稳定性和抗振能力，这对于获得清晰的干涉条纹和稳定的测量数据很有帮助。样品台为手动控制，表面经过磨砂处理，既防滑又耐刮擦，承重能力可以满足大多数中小型工件的测量需求。

该仪器的性能特点在于其非接触式的测量方式。它不会对柔软、光滑或易损坏的表面造成划伤或压迫，保持了样品的完整性。其垂直扫描能力允许它测量具有一定陡峭倾角或较大台阶高度的表面形貌。在操作软件方面，它配备了直观的Vision64®界面，用户可以通过简单的鼠标点击完成对焦、光线调节、图像捕获以及数据分析的全流程。

ContourX-200的用途广泛，适用于半导体、材料科学、精密加工、微电子及学术研究等多个领域。无论是检测镜面、抛光表面的微小粗糙度，还是分析磨砂、微结构表面的台阶高度与体积，它都能提供有价值的三维数据。

基本参数概览：

• 型号： ContourX-200

• 测量技术： PSI (相移干涉术) 和 VSI (白光垂直扫描干涉术)

• 物镜选项： 多种倍率可选（如2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X）

• Z轴扫描范围： 可达数毫米级别（具体取决于物镜配置）

• 横向分辨率： 与所选物镜的倍率相关

• 平台尺寸： 适用于多数中小样品

• 数据输出： 三维形貌图、二维轮廓线、粗糙度参数（Sa, Sq, Sz等）、台阶高度、体积等多项指标

使用前，需将仪器安置在稳固的实验台上，并避免强振动和直射光的环境。开机后，预热片刻以使系统性能稳定。放置样品，通过手动旋钮调整样品台位置，在软件实时视窗中寻找观测区域。选择合适的物镜和测量模式，即可开始自动测量。完成后，可利用软件内置的强大分析工具进行数据处理和报告生成。

布鲁克ContourX-200三维表面测量的实用之选