布鲁克ContourX-500探索微观世界三维细节​

布鲁克ContourX-500探索微观世界三维细节

在科研与工业质检领域，对样品表面进行非接触、高细节的三维形貌测量是一项常见需求。布鲁克公司的ContourX-500三维光学轮廓仪，正是为满足这一需求而设计的测量工具。它通过*的光学技术，为用户提供样品表面的三维数据图，帮助用户洞察微观世界的丰富信息。

ContourX-500的核心在于其采用的白光垂直扫描干涉（VSI）和相位扫描干涉（PSI）技术。这两种技术可根据样品表面的粗糙度自动或手动切换适用。对于相对平滑的表面，PSI模式能提供更高的纵向分辨率；而对于粗糙或有较大台阶的样品，VSI模式则展现出其测量范围广的特点。这种灵活的技术组合，使ContourX-500能够适应从光滑光学元件到粗糙机加工表面的多种测量场景。

在硬件用料方面，ContourX-500体现了扎实的工艺。仪器主体采用刚性良好的金属结构，保证了系统的稳定性和抗振性。关键的光学部件选用了高品质的镜头和传感器，确保了成像的清晰度和数据的可靠性。工作台通常由耐磨材料制成，并配有精密的电动位移装置，实现样品的精准定位。

为了让您更清晰地了解其核心指标，以下是ContourX-500的主要参数概览：

• •视野范围：可选，典型配置下可达约 10mm x 10mm。

• •垂直分辨率：在PSI模式下可达亚纳米级。

• •垂直测量范围：最高可达数毫米（因物镜倍数而异）。

• •平台移动范围：通常为100mm x 100mm或以上，便于测量大样品上的不同点位。

• •光源：长寿命LED白光光源。

• 操作流程简述：

• 样品准备： 确保样品表面清洁、干燥，无明显灰尘。

• 开机与放置： 启动仪器和软件，将样品平稳放置于样品台上。

• 选择与对焦： 根据样品特征选择合适的物镜倍数，通过旋钮粗调至视野清晰。

• 光强调节： 在软件中调节光源强度，使相机图像不过曝也不欠曝。

• 选择模式： 根据表面特性，选择PSI或VSI测量模式。

• 开始测量： 设定扫描范围（VSI模式）后，启动自动测量程序。

• 数据分析： 测量完成后，利用软件工具进行平面校正、滤波、参数计算等分析，并导出报告。

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该仪器广泛应用于半导体、微电子、材料科学、精密加工、生物薄膜等行业。无论是测量芯片表面的镀层厚度、抛光工艺后的粗糙度，还是分析涂层或薄膜的形貌特征，ContourX-500都能提供有价值的数据支持。

使用ContourX-500时，操作流程直观。首先将样品平稳放置于样品台上，通过软件控制平台移动，在显微镜下找到待测区域。根据样品特性选择合适的物镜倍数和测量模式（VSI或PSI），设置扫描参数后即可开始自动测量。测量完成后，软件提供丰富的分析工具，可进行粗糙度计算、台阶高测量、体积分析等诸多功能，生成详细的报告。

总而言之，布鲁克ContourX-500三维光学轮廓仪是一款功能多样、适应性强的表面测量设备，是探索微观世界三维形貌的一个实用工具。

布鲁克ContourX-500探索微观世界三维细节