认识ZYGO ZeGage Pro轮廓仪​

认识ZYGO ZeGage Pro轮廓仪

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接触式的3D光学轮廓仪，致力于为科研与工业领域提供表面形貌的测量方案。它基于相干扫描干涉技术（CSI），能够对从超光滑到微粗糙的各种表面进行三维形貌测量和二维轮廓分析。

在产品细节上，ZeGage Pro的设计紧凑，集成了光源、干涉物镜、精密压电扫描器和高分辨率相机于一体。其外壳采用工业级的铝合金材料，确保了仪器在长时间运行中的稳定性和抗环境干扰能力。仪器正面配备了直观的触摸屏控制界面，使用户能快速进行基础操作和实时观察。

该仪器的性能体现在其测量能力上。它能够以纳米级垂直分辨率捕捉表面细节，并提供大范围的扫描区域。其重复性测量结果的一致性，有助于用户进行可靠的对比和趋势分析。无论是透明材料、金属还是高反光表面，ZeGage Pro都能应对常见的测量挑战。

核心参数概览：

• 垂直分辨率： 可达亚纳米级

  
  

• 平台行程： 可选100mm x 100mm或200mm x 200mm电动平台

  
  

• 物镜： 多种倍率可选（如2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X）

  
  

• 相机： 高分辨率百万像素相机

  
  

• 光源： LED白光光源，寿命长，稳定性好

  
  

ZeGage Pro的用途广泛，适用于半导体、光学制造、材料科学、精密加工和MEMS等多个行业。它常用于测量表面粗糙度、台阶高度、薄膜厚度、形貌结构以及进行缺陷检测。

使用说明方面，ZeGage Pro配备了友好的操作软件。用户通过选择合适的物镜和测量模式，将样品置于平台上，通过软件自动对焦和设置扫描范围，即可开始自动测量。软件内置的分析工具可轻松完成2D和3D参数计算、图形绘制和报告生成。

认识ZYGO ZeGage Pro轮廓仪