ZeGage Pro激光干涉仪的技术内核与用材​

ZeGage Pro激光干涉仪的技术内核与用材

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接触式的3D光学轮廓仪，致力于为科研与工业领域提供表面形貌的测量方案。它基于相干扫描干涉技术（CSI），能够对从超光滑到微粗糙的各种表面进行三维形貌测量和二维轮廓分析。

在产品细节上，ZeGage Pro的设计紧凑，集成了光源、干涉物镜、精密压电扫描器和高分辨率相机于一体。其外壳采用工业级的铝合金材料，确保了仪器在长时间运行中的稳定性和抗环境干扰能力。仪器正面配备了直观的触摸屏控制界面，使用户能快速进行基础操作和实时观察。

该仪器的性能体现在其测量能力上。它能够以纳米级垂直分辨率捕捉表面细节，并提供大范围的扫描区域。其重复性测量结果的一致性，有助于用户进行可靠的对比和趋势分析。无论是透明材料、金属还是高反光表面，ZeGage Pro都能应对常见的测量挑战。

ZeGage Pro的核心优势源于其内在的技术和扎实的制造用材。它采用了经过验证的相干扫描干涉法（CSI），这是一种通过分析样品与参考镜之间产生的干涉信号来重建表面三维形貌的技术，适用于多种表面的精细测量。

在光学系统方面，ZeGage Pro配备了高质量的LED光源，不仅提供了稳定的照明，还具有长的使用寿命，降低了后续的维护成本。其干涉物镜系列经过精心设计和校准，确保了测量的准确传递。镜片采用低膨胀系数的光学玻璃，减少了由热波动引起的测量偏差。

仪器的机械结构是稳定性的基石。核心扫描单元采用低热膨胀材料和高刚性结构设计，有效隔离了外界振动和温度变化带来的影响。精密压电陶瓷（PZT）驱动器负责完成纳米级的垂直扫描，其线性和重复性为高分辨率测量提供了保障。

样品台同样体现了对质量的关注。台面平整度高，由耐磨材料制成，电动驱动版本采用精密的丝杠和电机，确保了定位的准确性和重复性。

型号选择：

ZeGage Pro通常不是一个单一型号，而是作为一个产品平台，用户可以根据需求选配：

• 不同行程的电动平台（如100mm或200mm）。

  
  

• 不同放大倍率的干涉物镜套件。

  
  

• 软件功能模块（如高级分析包）。

  
  

这种模块化的设计意味着用户可以获得一款贴合自身应用和预算需求的仪器。无论是专注于研发还是用于生产线的质量控制，都有相应的配置可供选择。

了解其技术内核和扎实的用材，有助于用户理解ZeGage Pro为何能成为实验室或生产线上一款值得信赖的测量工具。它的设计着眼于长期稳定的性能输出。

ZeGage Pro激光干涉仪的技术内核与用材