ZeGage Pro激光干涉仪的多样化应用场景​

ZeGage Pro激光干涉仪的多样化应用场景

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接触式的3D光学轮廓仪，致力于为科研与工业领域提供表面形貌的测量方案。它基于相干扫描干涉技术（CSI），能够对从超光滑到微粗糙的各种表面进行三维形貌测量和二维轮廓分析。

在产品细节上，ZeGage Pro的设计紧凑，集成了光源、干涉物镜、精密压电扫描器和高分辨率相机于一体。其外壳采用工业级的铝合金材料，确保了仪器在长时间运行中的稳定性和抗环境干扰能力。仪器正面配备了直观的触摸屏控制界面，使用户能快速进行基础操作和实时观察。

该仪器的性能体现在其测量能力上。它能够以纳米级垂直分辨率捕捉表面细节，并提供大范围的扫描区域。其重复性测量结果的一致性，有助于用户进行可靠的对比和趋势分析。无论是透明材料、金属还是高反光表面，ZeGage Pro都能应对常见的测量挑战。

ZeGage Pro的核心优势源于其内在的技术和扎实的制造用材。它采用了经过验证的相干扫描干涉法（CSI），这是一种通过分析样品与参考镜之间产生的干涉信号来重建表面三维形貌的技术，适用于多种表面的精细测量。

在光学系统方面，ZeGage Pro配备了高质量的LED光源，不仅提供了稳定的照明，还具有长的使用寿命，降低了后续的维护成本。其干涉物镜系列经过精心设计和校准，确保了测量的准确传递。镜片采用低膨胀系数的光学玻璃，减少了由热波动引起的测量偏差。

仪器的机械结构是稳定性的基石。核心扫描单元采用低热膨胀材料和高刚性结构设计，有效隔离了外界振动和温度变化带来的影响。精密压电陶瓷（PZT）驱动器负责完成纳米级的垂直扫描，其线性和重复性为高分辨率测量提供了保障。

样品台同样体现了对质量的关注。台面平整度高，由耐磨材料制成，电动驱动版本采用精密的丝杠和电机，确保了定位的准确性和重复性。

ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪的应用范围横跨多个制造与研发领域，其灵活的配置和可靠的性能使其成为多种测量任务的合适选择。

在光学制造领域，它用于测量透镜、棱镜、反射镜等光学元件的表面质量、曲率半径、面形误差以及镀膜后的表面变化。对于激光光学元件和自由曲面，其高分辨率的测量能力显得尤为重要。

在半导体和MEMS（微机电系统）领域，ZeGage Pro可以精确测量硅晶圆上的薄膜厚度、光刻胶图形的台阶高度、CMP（化学机械抛光）后的表面平整度以及微结构的三维形貌。其非接触的特性避免了对脆弱结构的损伤。

在精密加工与材料科学领域，该仪器可用于评估金属、陶瓷、聚合物等材料的表面粗糙度、磨损情况、涂层厚度和纹理方向。研究人员利用它来分析材料处理工艺（如抛光、研磨、喷涂）对表面特性的影响。

在学术科研领域，ZeGage Pro是物理学、化学、生物学等学科中进行微观表面研究的工具。从仿生学表面结构到纳米材料的形貌表征，它都能提供直观且量化的数据支持。

使用说明在这些场景中略有不同。例如，测量高反光样品时，可能需要调整光强或使用特定的物镜；测量透明薄膜时，则需要软件中的特殊分析算法来正确处理上下表面的干涉信号。ZeGage Pro的软件提供了预设的测量模板和可自定义的流程，帮助用户快速适应不同的应用需求，简化操作步骤，提升测量效率。

ZeGage Pro激光干涉仪的多样化应用场景