详解ZYGO ZeGage Pro干涉仪参数与性能​

详解ZYGO ZeGage Pro干涉仪参数与性能

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接触式的3D光学轮廓仪，致力于为科研与工业领域提供表面形貌的测量方案。它基于相干扫描干涉技术（CSI），能够对从超光滑到微粗糙的各种表面进行三维形貌测量和二维轮廓分析。

在产品细节上，ZeGage Pro的设计紧凑，集成了光源、干涉物镜、精密压电扫描器和高分辨率相机于一体。其外壳采用工业级的铝合金材料，确保了仪器在长时间运行中的稳定性和抗环境干扰能力。仪器正面配备了直观的触摸屏控制界面，使用户能快速进行基础操作和实时观察。

该仪器的性能体现在其测量能力上。它能够以纳米级垂直分辨率捕捉表面细节，并提供大范围的扫描区域。其重复性测量结果的一致性，有助于用户进行可靠的对比和趋势分析。无论是透明材料、金属还是高反光表面，ZeGage Pro都能应对常见的测量挑战。

深入理解ZYGO ZeGage Pro的参数有助于用户判断它是否满足特定的测量要求。这些参数共同定义了仪器的能力边界。

垂直分辨率： 这是衡量仪器分辨垂直方向微小高度差能力的指标。ZeGage Pro的垂直分辨率可达亚纳米级别，这意味着它能够清晰地分辨出表面极其细微的起伏。

横向分辨率： 这主要由所选物镜的放大倍率和相机的像素大小决定。更高倍率的物镜能提供更小的细节分辨能力，但相应的视野范围会变小。用户需根据待测特征的大小在分辨率和视野之间做出选择。

扫描范围： 包括垂直扫描范围和横向视野范围。垂直扫描范围决定了仪器所能测量的最大高度差，通常可达数毫米。横向视野则取决于物镜，从低倍下的大于10mm到高倍下的不足0.5mm。

测量速度： ZeGage Pro的测量速度受到多种因素影响，包括扫描范围、扫描速度设置和数据分析的复杂程度。其快速扫描模式可以在保证数据质量的前提下，提升检测 throughput（通量）。

重复性： 指在相同条件下对同一样品多次测量所得结果的一致性。良好的重复性是进行可靠质量控制和生产过程监控的基础，ZeGage Pro在重复性方面有不错的表现。

典型参数表摘要：

这些参数并非孤立存在，而是相互关联的。用户需要结合自己最关注的应用指标（如是需要纳米级的分辨率，还是需要测量较大的台阶高度）来综合评估这些参数。

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