详解ZYGO 干涉仪操作指南与软件体验​

详解ZYGO 干涉仪操作指南与软件体验

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接触式的3D光学轮廓仪，致力于为科研与工业领域提供表面形貌的测量方案。它基于相干扫描干涉技术（CSI），能够对从超光滑到微粗糙的各种表面进行三维形貌测量和二维轮廓分析。

ZYGO ZeGage Pro的用户体验旨在简化操作流程，让用户能够专注于测量结果而非复杂的仪器设置。从开机测量到生成报告，流程清晰直观。

初始设置与校准： 仪器出厂前已完成预校准。用户在日常使用中，主要通过软件向导进行简单的日常校验即可，确保了测量的可靠性。更换物镜后，系统通常能自动识别并加载相应的校准参数。

测量流程：

1. 样品放置： 将样品平稳放置在样品台上。

   
   

2. 选择物镜： 根据样品特征大小和所需视野，通过软件或手动转盘选择合适倍率的干涉物镜。

   
   

3. 对焦与预览： 使用软件的自动对焦或手动对焦功能，使样品图像清晰显示在实时预览窗口中。

   
   

4. 设置扫描参数： 定义垂直扫描的起始点和结束点。软件通常提供“快速估测"功能来辅助设置。

   
   

5. 开始测量： 点击测量按钮，仪器将自动完成扫描和数据采集过程，耗时从几秒到几分钟不等。

   
   

软件分析功能： ZeGage Pro搭载的软件是其强大功能的延伸。它提供丰富的分析工具：

• 形貌视图： 以2D线轮廓、3D等高线图或3D渲染图显示表面形貌。

  
  

• 参数分析： 自动计算并输出一系列国际标准化的粗糙度（Sa, Sq...）、波纹度、台阶高度、体积等参数。

  
  

• 高级处理： 提供数据滤波、去除倾斜、形式移除、缺陷分析等功能，以提取所需的特定信息。

  
  

• 数据导出： 测量结果和数据可以多种格式（图片、视频、文本数据）导出，便于存档和融入第三方软件进行进一步处理。

  
  

• 配方功能： 对于重复性检测任务，可以创建和保存测量“配方"，实现一键式自动化测量，减少人为操作差异，特别适合生产环境。

  
  

通过友好的软件界面和逻辑清晰的操作步骤，ZeGage Pro使得高精度的3D表面测量变得易于上手和执行，降低了用户的操作门槛。

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