ZYGO ZeGage Pro：3D 轮廓检测新选择
在精密制造、半导体、光学元件等领域，对物体表面微观形貌的精准检测是保障产品质量的关键环节。ZYGO 推出的 3D 光学轮廓仪 ZeGage Pro，凭借优良的光学检测技术、稳定的性能及丰富的功能，为各行业提供高效的表面轮廓检测方案，助力用户深入了解样品表面的三维特征。
从产品细节来看，ZYGO ZeGage Pro 采用紧凑式机身设计，整体结构稳固，占地面积小，可灵活放置在实验室或生产车间的检测区域。设备搭载高分辨率成像系统，核心光学部件选用高透光率光学玻璃，配合精密的光学镜头组，能有效减少光线折射与散射带来的干扰，确保检测图像的清晰度。检测平台采用高精度平移台，台面材质为耐磨不锈钢，表面经过特殊处理，平整度高，可稳定放置不同规格的样品，同时平移台的移动精度高，能精准将样品送至检测区域，保证检测位置的准确性。
产品性能方面，ZYGO ZeGage Pro 具备出色的检测分辨率，垂直分辨率可达纳米级别，能清晰捕捉样品表面微小的高低起伏变化，如微米级的划痕、凸起或凹陷。设备的检测范围可根据需求调整，最小检测区域可至几微米，最大检测区域能覆盖数毫米，满足从小尺寸精密元件到较大样品表面的检测需求。检测速度较快，完成一次常规样品的 3D 轮廓扫描仅需几分钟，大幅缩短检测周期，提高检测效率。此外，设备还具备良好的重复性，对同一样品多次检测，结果偏差较小，确保检测数据的可靠性。
用材上，除核心光学部件采用高透光率光学玻璃外，设备的机身框架选用高强度铝合金材料，这种材料不仅重量轻，还具备良好的抗振动性能，能减少外部环境振动对检测结果的影响。检测平台的不锈钢台面耐磨损、抗腐蚀，长期使用后仍能保持较好的平整度，延长设备使用寿命。设备内部的电子元件均选用优质品牌产品，确保电路系统的稳定运行，降低设备故障概率。
ZYGO ZeGage Pro 的用途广泛。在半导体行业，可用于检测芯片表面的平整度、线路的高度差及缺陷，确保芯片的性能与可靠性；在光学元件制造领域，能检测透镜、棱镜等表面的曲率、面型误差，保障光学元件的成像质量；在精密模具行业，可对模具表面的纹理、尺寸精度进行检测，为模具的加工优化提供数据支持；在医疗设备领域，能检测医疗植入体表面的粗糙度，确保其生物相容性与使用安全性。
使用说明方面，以检测光学透镜表面面型误差为例，操作步骤如下：首先，将待检测的光学透镜放置在检测平台的中心位置，调整样品固定装置，确保透镜稳定且不产生变形；然后，打开设备配套的检测软件，在软件界面中设置检测参数，如检测区域大小、扫描分辨率、检测速度等，根据透镜的尺寸与检测需求，选择合适的参数；接着，启动检测程序，设备会自动控制平移台移动，带动样品进行扫描，同时光学系统采集样品表面的光学信号，并将其转化为三维轮廓数据；检测完成后，软件会自动生成 3D 轮廓图像及相关检测报告，报告中包含表面粗糙度、面型误差、曲率半径等关键参数，用户可根据报告分析透镜表面的质量状况，判断是否符合生产标准；最后，关闭检测程序，取下样品，清洁检测平台，为下一次检测做好准备。
ZYGO ZeGage Pro 参数表：
ZYGO 3D 光学轮廓仪 ZeGage Pro 以其精准的检测能力、稳定的性能、优质的用材及便捷的操作，成为各行业表面轮廓检测的可靠工具，为产品质量控制与研发创新提供有力的数据支持。
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