在精密测量设备领域，参数配置与实际应用适配度是用户关注的核心。ZYGO 3D 光学轮廓仪 ZeGage Pro 凭借精心设计的参数体系、优质用材及广泛的场景适配能力，为不同行业用户提供可靠测量支持。
详细参数配置
ZeGage Pro 拥有丰富且实用的参数配置，满足多样测量需求。在测量范围方面，垂直测量范围覆盖从 0.1μm 到 10mm，可应对从微观结构到较大尺寸工件的表面测量；水平视场根据搭配的物镜不同有所差异，搭配 5 倍物镜时水平视场约为 2.6mm×2.0mm，搭配 10 倍物镜时约为 1.3mm×1.0mm，用户可根据测量对象大小灵活选择。
分辨率上，垂直分辨率可达 0.1nm，能捕捉到工件表面细微的高度变化；水平分辨率与物镜倍率相关，10 倍物镜下水平分辨率约为 0.65μm，可清晰呈现表面微观纹理。测量速度方面，单次全范围扫描时间最短可至 1 秒，在保证测量精度的同时，有效提升测量效率，减少等待时间。
数据处理能力也不容小觑，设备搭载的专用处理器可快速处理海量测量数据，生成三维形貌图、轮廓曲线、粗糙度参数等多种分析结果，且支持多种数据格式导出，方便与其他分析软件协同使用。
优质用材选择
ZeGage Pro 在关键部件用材上严格把控，确保设备性能稳定与耐用性。仪器主体框架采用高强度铸铝材料，铸铝材料具有良好的刚性与轻量化特性，既能为内部精密部件提供稳固支撑，减少外界振动对测量的影响，又便于设备搬运与安装。
光学系统中的核心镜片选用高透过率光学玻璃，这种玻璃经过特殊工艺处理，透光率可达 99% 以上，能大程度减少光线损耗，保证干涉信号的清晰稳定，为精准测量提供基础。同时，镜片表面镀有多层增透膜，有效降低反射光干扰，进一步提升光学系统性能。
运动部件如压电扫描器的核心组件采用压电陶瓷材料，压电陶瓷具有优异的压电效应与响应速度，在电压控制下可实现纳米级的精准位移，且长期使用稳定性好，不易出现性能衰减。设备台面则采用耐磨不锈钢材质，不锈钢台面表面经过精密研磨处理，平整度高，同时具备良好的抗腐蚀与耐磨性，可长期保持台面精度，延长设备使用寿命。
多行业应用场景
在电子行业，ZeGage Pro 可用于芯片封装检测。芯片封装过程中，焊点高度、焊盘平整度直接影响芯片性能与可靠性，借助设备的高分辨率测量能力，可精准测量焊点高度偏差与焊盘平面度，及时发现封装缺陷，保障芯片质量。此外，还能对显示屏面板表面的触控层厚度、表面粗糙度进行测量，确保显示屏触控灵敏度与显示效果。
在光学元件制造领域，适用于透镜、棱镜等元件的表面测量。透镜表面的曲率半径、面型误差会影响光学成像质量，通过 ZeGage Pro 可快速获取透镜表面三维形貌数据，计算出面型误差参数，为透镜加工精度控制提供依据。对于棱镜的棱角角度、表面平整度测量，设备也能精准完成，助力光学元件制造企业提升产品品质。
在医疗器械行业，可用于人工关节表面粗糙度测量。人工关节表面粗糙度直接关系到患者使用舒适度与关节使用寿命，ZeGage Pro 能精准测量关节表面粗糙度参数，帮助制造商优化加工工艺，生产出更符合医疗标准的产品。同时，还可对医疗器械中的微通道结构尺寸、表面平整度进行检测，保障医疗器械的使用性能与安全性。
无论是参数配置、用材选择还是应用场景适配，ZeGage Pro 都展现出强劲实力，为各行业精密测量需求提供有力保障，助力企业提升产品质量与生产效率。
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