ZYGO ZeGage Pro 技术：多原理支撑测量方案

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ZYGO ZeGage Pro 技术：多原理支撑测量方案
ZeGage Pro 依托多种成熟光学测量技术，实现对不同表面特性样品的精准检测。其核心技术包括相移干涉（PSI）与动态干涉（DI），相移干涉技术通过控制参考镜的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉图像，再通过算法提取样品表面高度信息，适用于超光滑表面测量，纵向分辨率可达到 0.1nm

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更新时间：2025-10-13

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ZYGO ZeGage Pro 技术：多原理支撑测量方案

ZeGage Pro 依托多种成熟光学测量技术，实现对不同表面特性样品的精准检测。其核心技术包括相移干涉（PSI）与动态干涉（DI），相移干涉技术通过控制参考镜的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉图像，再通过算法提取样品表面高度信息，适用于超光滑表面测量，纵向分辨率可达到 0.1nm；动态干涉技术则能在样品轻微振动的环境下稳定工作，通过实时捕捉干涉条纹变化，消除振动对测量结果的影响，适配生产线上的在线检测场景。

设备还集成了共聚焦成像技术，当测量粗糙表面样品时，共聚焦技术可通过针孔滤波去除杂散光，清晰呈现样品表面微观结构，搭配软件中的 “3D 重建" 功能，能生成直观的三维形貌图，帮助用户更清晰地观察样品表面纹理、划痕等细节。核心光学部件选用低色散光学玻璃，经过特殊的镀膜处理，有效减少光线反射与折射损失，提升透光率，确保成像质量稳定。图像传感器采用高分辨率 CMOS 芯片，在 120 帧 / 秒的采集速度下，仍能保持 0.15μm 的横向分辨率，可清晰捕捉样品表面微小特征。

为适应不同环境，设备搭载了环境补偿系统，能实时监测温度、湿度变化，并自动调整测量参数，即使在温度波动 ±2℃、湿度 40%-60% 的普通实验室环境中，也能保证测量结果的一致性。此外，软件内置的 “自动校准" 功能，定期提醒用户进行系统校准，校准过程无需专业人员操作，按照提示步骤即可完成，进一步降低使用门槛。