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ZYGOZeGage Pro 结构与参数:可靠测量保障

产品简介

ZYGOZeGage Pro 结构与参数:可靠测量保障
ZeGage Pro 采用紧凑型台式设计,机身尺寸约 550mm×480mm×700mm,重量约 65kg,无需专用安装空间,普通实验室操作台即可放置,节省场地资源。机身外壳选用高强度冷轧钢板,表面经过静电喷塑处理,具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能,长期使用仍能保持外观整洁,同时有效隔绝外部环境对内部光学系统的干扰。

产品型号:
更新时间:2025-10-13
厂商性质:代理商
访问量:54
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ZYGOZeGage Pro 结构与参数:可靠测量保障

ZeGage Pro 采用紧凑型台式设计,机身尺寸约 550mm×480mm×700mm,重量约 65kg,无需专用安装空间,普通实验室操作台即可放置,节省场地资源。机身外壳选用高强度冷轧钢板,表面经过静电喷塑处理,具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能,长期使用仍能保持外观整洁,同时有效隔绝外部环境对内部光学系统的干扰。

ZYGOZeGage Pro 结构与参数:可靠测量保障

核心光学系统密封在独立的防尘舱内,舱体采用密封胶条密封,防止灰尘、水汽进入,保障光学元件清洁,避免因污染影响成像质量。镜头接口采用标准化设计,兼容 8 种常用倍率物镜,更换物镜时只需轻轻旋转即可装卸,无需复杂的校准步骤,软件会自动识别物镜型号并匹配相应参数,减少操作时间。样品台是设备的关键结构之一,采用精密滚珠导轨,导轨表面覆盖耐磨涂层,确保长期移动后仍能保持精度。样品台 X 轴、Y 轴移动范围均为 80mm,Z 轴移动范围为 40mm,搭配高精度光栅尺,移动精度可达 0.05μm,能精准定位样品测量位置。
以下为 ZeGage Pro 核心参数表:
参数类别
具体参数
测量技术
相移干涉、动态干涉、共聚焦成像
横向分辨率
0.15μm(20x 物镜)
纵向分辨率
0.1nm(相移干涉模式)
扫描范围
X/Y 轴:80mm×80mm,Z 轴:40mm
样品台承重
15kg
样品台移动精度
0.05μm(XYZ 轴)
传感器帧率
120 帧 / 秒

软件方面,内置 ISO 4287、ASME B46.1 等国际通用标准算法,确保测量数据符合行业规范,支持与其他分析软件的数据互通,方便后续数据处理与分析。

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