ZYGO光学轮廓仪操作:轻松上手的测量工具
ZYGO Nexview™ NX2 光学轮廓仪在操作设计上,充分考虑不同用户的使用习惯,让新手也能快速熟悉测量流程。其核心操作软件采用直观的分区布局,主界面上方为功能菜单栏,包含 “样品管理"“测量设置"“数据处理" 等选项,每个选项下的子功能都配有清晰的文字说明;中间是实时成像窗口,可同步显示样品的二维图像与三维轮廓预览;下方为操作进度条与参数提示栏,方便用户实时掌握测量状态。
样品定位环节十分便捷,软件自带 “智能寻焦" 功能,点击后设备会自动扫描样品表面,快速找到清晰成像的焦距位置,无需手动反复调节。若需精准定位测量区域,用户可在成像窗口中用鼠标拖拽框选,系统会自动记录该区域坐标,后续再次测量时直接调用坐标即可,避免重复定位。测量模式选择上,设备提供白光干涉、共聚焦、动态模式等多种选项,每种模式都预设了适配常见样品的参数,如测量光学镜片时,调用 “光学元件" 预设模式,即可自动匹配合适的扫描速度与分辨率;专业用户也可在 “参数自定义" 界面调整横向采样间隔、纵向扫描范围等参数,调整过程中软件会实时显示参数对应的测量效果预览,便于及时调整。
硬件操作同样简单,电动样品台通过软件中的虚拟手柄控制,可实现 X、Y、Z 轴的平稳移动,移动速度可根据需求调节,最慢速度适合精细定位,最快速度方便快速切换样品。样品固定采用可调节卡扣式夹具,只需转动旋钮即可夹紧样品,适配从 5mm×5mm 的微型芯片到 150mm×150mm 的电路板等不同尺寸样品,最大承重达 20kg,满足多样测量需求。批量测量时,软件支持导入样品坐标列表,设备会按照列表顺序自动完成每个样品的测量,测量完成后数据可自动导出为 CSV、TIF 等格式,还能生成包含测量参数、结果分析的报告,减少人工整理数据的工作量。
ZYGO光学轮廓仪操作:轻松上手的测量工具