ZYGO光学轮廓仪：多原理助力精准测量
Nexview™ NX2 光学轮廓仪依托多种成熟的光学测量技术，为不同特性样品的检测提供支持。其中，白光干涉技术是核心技术之一，该技术通过将白光光源分为参考光与测量光，两束光分别经参考镜与样品表面反射后重新汇合，产生干涉条纹，系统通过垂直扫描采集不同位置的干涉信号，再经算法处理重建样品的三维形貌，纵向分辨率可达 0.05nm，适用于超光滑表面如光学镜片、半导体晶圆的测量。
共聚焦技术则针对粗糙表面样品设计，当光线通过针孔光源照射到样品表面时，只有聚焦在样品焦平面上的光线能通过接收针孔被传感器捕捉，非焦平面光线被过滤，从而清晰呈现样品表面的微观纹理，搭配软件中的 “纹理分析" 功能，可快速获取表面粗糙度、纹理方向等参数，适用于模具、机械零件等粗糙表面的检测。动态测量技术通过实时监测样品的微小振动，自动调整测量参数补偿振动影响，即使在生产车间等存在轻微振动的环境中，也能保证测量数据的稳定性，满足在线检测需求。
核心光学部件的选材与工艺同样注重性能保障，光学镜头采用低色散光学玻璃，经过多道研磨与抛光工艺处理，减少光线在传播过程中的色散与畸变；镜头表面镀有多层增透膜，透光率提升至 95% 以上，降低光线反射损失，确保成像质量。图像传感器选用高灵敏度 CMOS 芯片，像素尺寸达 3.45μm，在 150 帧 / 秒的高速采集速度下，仍能保持 0.1μm 的横向分辨率，可清晰捕捉样品表面的微小缺陷如划痕、凹陷等。此外，设备还搭载了环境自适应系统，实时监测温度、湿度与气压变化，当环境参数发生波动时，自动调整光学系统参数，确保测量结果不受环境影响，在温度波动 ±1℃、湿度 30%-70% 的环境中仍能稳定工作。
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