ZYGO光学轮廓仪结构与参数：可靠的测量基础
Nexview™ NX2 光学轮廓仪采用台式一体化结构设计，机身尺寸约 620mm×580mm×750mm，重量约 80kg，无需专用的大型安装场地，普通实验室操作台即可放置，节省空间资源。机身外壳选用高强度铝合金材料，经过阳极氧化处理，表面形成坚硬的氧化膜，具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能，长期使用后仍能保持外观整洁，同时铝合金材质的散热性能较好，有助于设备内部元件保持稳定工作温度。
核心光学系统密封在独立的防尘防潮舱内，舱体采用双层密封结构，内层为橡胶密封胶条，外层为金属盖板，有效防止灰尘、水汽进入光学系统内部，避免光学元件污染影响测量精度；舱体侧面设有观察窗，采用高透光率光学玻璃，方便用户观察测量过程中样品的状态。镜头接口采用标准化设计，兼容 10 种常用倍率的物镜，从 2.5x 到 100x 不等，更换物镜时只需轻轻旋转镜头即可完成装卸，软件会自动识别物镜型号并匹配相应的测量参数，无需手动校准，减少操作时间。
样品台是设备的关键结构，采用精密滚珠丝杠传动，导轨表面覆盖聚四氟乙烯耐磨涂层，减少摩擦损耗，延长使用寿命，同时保证移动的平稳性。样品台 X 轴与 Y 轴的移动范围均为 120mm，Z 轴移动范围为 60mm，搭配高精度光栅尺，移动精度可达 0.02μm，能精准定位测量区域。以下为 Nexview™ NX2 核心参数表：
软件方面，内置 ISO 4287、GB/T 1031 等国内外通用的测量标准算法，确保测量数据符合行业规范；支持与 CAD、MATLAB 等软件的数据互通，方便用户进行后续的数据分析与建模；同时提供自定义算法接口，专业用户可根据需求开发专属的数据分析算法，拓展设备的应用范围。
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