ZYGO光学轮廓仪适配：满足多样检测需求
Nexview™ NX2
光学轮廓仪通过丰富的辅助配件与灵活的软件功能，适配不同类型样品与检测场景，为用户提供多样化的测量解决方案。在辅助夹具方面，设备提供多种专用夹具供选择：真空吸附夹具通过 - 0.09MPa 至 0MPa 的可调负压，将薄膜、柔性电路板等易变形样品平整固定，避免因夹持力过大导致样品褶皱或损坏；精密定位夹具配备微调旋钮与十字对准线，定位精度可达 1μm，适用于 MEMS 器件、微型传感器等微小样品的精准定位测量。
针对特殊环境与样品的检测需求，高温夹具可在室温至 200℃的范围内稳定工作，满足金属材料高温形变、陶瓷样品高温烧结过程中的表面形貌测量；低温夹具则能在 - 40℃至室温范围内使用，适配低温环境下如冷冻生物样品、超导材料的检测。防磁夹具采用无磁不锈钢材质制作，避免磁场对测量结果的干扰，适用于磁性材料如永磁体、磁头的表面形貌测量。
批量检测场景中，设备可搭配自动化上下料系统，该系统由机械臂、样品托盘与传送带组成，机械臂根据预设程序将样品从托盘转移至样品台，测量完成后再将样品送至指定区域，每小时可完成 80-120 个样品的测量，大幅提升检测效率，减少人工操作成本。软件适配能力同样出色，15.6 英寸高清触控屏支持多点触控与手势操作，如缩放、平移成像画面，便捷调用常用功能；界面提供中文、英文、德语、法语等多语言选项，满足不同地区用户的使用需求。
软件内置 30 + 行业专用测量模板，涵盖半导体、光学制造、汽车零部件、生物医学等领域，如半导体行业的 “晶圆检测" 模板，预设了晶圆表面缺陷检测、厚度测量的参数；光学制造行业的 “透镜面型" 模板，适配透镜的曲率半径、面型误差测量。用户可根据样品类型直接调用模板，无需重新设置参数；同时支持自定义模板保存，最多可存储 100 组自定义参数，重复检测相同类型样品时直接调用，提升操作效率。“新手引导" 功能通过图文结合的方式，分步讲解从样品固定、参数设置到数据导出的完整流程，帮助新手快速掌握设备操作，降低使用门槛。
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