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产品简介
Sensofar共聚焦白光干涉仪多模式测量技术Sensofar S neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面叠加三种测量模式于一体的三维光学轮廓仪，适用于实验室研发和工业生产线的表面形貌检测。
产品分类
Sensofar共聚焦白光干涉仪多模式测量技术
共聚焦模式：利用高 NA 物镜实现 0.10 µm 横向分辨率，支持最高 86° 的倾斜角测量，适合金属模具、陶瓷基板等陡坡表面的三维重建。
白光干涉模式：通过波长扫描与相干门控实现亚纳米级纵向分辨率（0.1 nm），可对光学镜片、薄膜等超光滑表面进行无接触测量，且具备抗振动技术提升测量可靠性。
多焦面叠加（MFI）模式：在单次扫描中叠加多个焦平面，最大测量深度可达 8 mm，扫描速度保持在 3 mm/s，满足大粗糙度或厚膜样品的快速测量需求。
系统通过自适应光学引擎自动调节光源波长、入射角度和算法参数，实现模式间的智能切换，降低操作复杂度。
三、S neox参数与型号对比
| 参数 | S neox 5（多功能型） | S neox 3（经济型） |
|---|---|---|
| 纵向分辨率（干涉） | 0.1 nm | 0.1 nm |
| 横向分辨率（共聚焦） | 0.10 µm | 0.30 µm |
| 最大 Z 扫描范围 | 10 mm | 10 mm |
| XY 行程 | 125 mm × 75 mm | 125 mm × 75 mm |
| 测量速度 | ≤3 s/扫描（高速模式） | ≤5 s/扫描 |
| 适用场景 | 半导体、光学、精密加工 | 常规表面粗糙度检测 |
| 额外功能 | 五轴旋转台、AI 自动路径规划 | 基础共聚焦/干涉功能 |
两款型号均采用相同的光学平台和软件体系，区别主要在于硬件配置（如高 NA 物镜、五轴旋转台）和软件功能的深度。
