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产品简介
SensofarS neox光学干涉仪使用与维护指南Sensofar S neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面叠加三种测量模式于一体的三维光学轮廓仪，适用于实验室研发和工业生产线的表面形貌检测。
产品分类
SensofarS neox光学干涉仪使用与维护指南
开机准备：通电后预热约 10 分钟，使光学系统达到热平衡，确保测量精度。
样品装载：将样品放置在 XY 平台上，使用平台的倾斜调平功能将样品法线对准光轴，必要时使用微调螺丝进行细微校正。
模式选择：根据样品的反射率或透明度，在软件界面选择共聚焦、白光干涉或多焦面叠加模式；系统会自动调节光源强度和焦距。
参数设置：在 SensoSCAN 或 SensoMAP 软件中设定扫描范围、分辨率、帧率等参数；若使用 AI 自动路径规划，仅需标记关键测量点，系统即可完成全表面三维重建。
校准与验证：每月使用标准校准片（如 NIST 参考平面）进行垂直分辨率校验，确保 0.1 nm 级别的测量准确性。
数据处理：测量完成后，利用 SensoMAP 高级分析模块计算 ISO 25178/ISO 4287 标准的粗糙度参数（Sa、Sq、Sz 等），并可直接生成符合行业规范的报告。
日常维护：保持光学窗口清洁，避免强酸碱或粉尘侵入；定期检查光源寿命（LED 光源可使用约 50 000 h）并在需要时更换。
通过上述步骤，用户可以在实验室或生产线上实现快速、可靠的三维表面测量，充分发挥 S neox 多模式技术的优势。
S neox 通过共聚焦与白光干涉的技术融合，实现了亚纳米级纵向分辨率与微米级横向分辨率的平衡，并配备高速扫描、自动化测量和多行业适配的软硬件生态。其模块化的型号设计能够满足从基础粗糙度检测到半导体封装分析的多层次需求。正确的使用流程和定期校准能够进一步保证测量结果的可靠性，使其在科研、质量控制和生产线监测等场景中发挥稳定的作用。