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布鲁克非接触式三维测量多场景解决方案ContourX-500作为布鲁克推出的台式三维光学轮廓仪，以非接触式白光干涉技术为核心，为工业检测与实验室研究提供了灵活的三维形貌测量方案。
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布鲁克非接触式三维测量多场景解决方案
ContourX-500作为布鲁克推出的台式三维光学轮廓仪，以非接触式白光干涉技术为核心，为工业检测与实验室研究提供了灵活的三维形貌测量方案。其核心优势在于将落地式白光干涉仪的功能集成于紧凑机身，占地面积减少40%，同时保持垂直分辨率0.1nm、横向分辨率0.35μm的性能指标，可覆盖从纳米级薄膜到毫米级台阶的测量需求。
技术架构与核心性能
设备采用模块化设计，光源模块搭载双色LED照明系统，波长范围覆盖可见光至近红外，通过多波段滤波器适配不同反射率样品。干涉镜头组支持5种物镜切换（2.5X-50X），工作距离10-45mm，结合自动测头倾斜功能（±6°），可实现复杂曲面（如涡轮叶片、微透镜阵列）的无损检测。样品台采用气动减震设计，承重达8kg，XY轴移动范围100mm×100mm，配合编码器反馈系统，定位重复性优于0.1μm。
材料与工艺的可靠性保障
光学部件选用高纯度熔融石英玻璃，透光率超91%，热膨胀系数低至5.6×10⁻⁷/℃，确保温度波动下光学路径稳定。镜头组表面镀氧化硅与氟化镁复合增透膜，反射率≤0.6%，提升干涉条纹对比度。机械结构方面，底座采用高强度铸铁，有效吸收振动；台面为304不锈钢精密研磨，平整度误差≤1.5μm，长期使用不形变。
典型应用场景
在半导体制造中，设备可检测晶圆表面颗粒污染（0.1μm级）与TSV通孔侧壁粗糙度；在汽车行业，用于分析发动机气门密封面磨损（深度≥9μm区域自动标记）；在生物医学领域，可表征组织工程支架的孔隙率与拓扑结构。某光学镜片厂商通过设备测量曲面误差PV值，将加工良率从82%提升至94%。
参数速览
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | ContourX-500 |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| 横向分辨率 | 0.35μm-5μm（依物镜而定） |
| 最大扫描范围 | 5mm×5mm×5mm |
| 样品台尺寸 | 200mm×200mm |
| 重量 | 35kg |
| 电源要求 | 100-240V AC, 50/60Hz |