Sensofar 三维共聚焦白光干涉轮廓仪概览

产品简介

Sensofar 三维共聚焦白光干涉轮廓仪概览
Sensofar LIN系列是面向工业与实验室环境设计的经济型三维光学轮廓仪。该系列仪器将共聚焦成像和白光垂直扫描干涉（VSI）两种技术集成于一体，提供了在纳米至毫米量程范围内进行非接触式三维形貌测量的解决方案。其设计注重操作的便捷性和测量的稳定性，适用于质量控制、研发分析等多种场景。

产品型号：LIN

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

访问量：62

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三维光学轮廓仪

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Sensofar 三维共聚焦白光干涉轮廓仪概览

Sensofar LIN系列是面向工业与实验室环境设计的经济型三维光学轮廓仪。该系列仪器将共聚焦成像和白光垂直扫描干涉（VSI）两种技术集成于一体，提供了在纳米至毫米量程范围内进行非接触式三维形貌测量的解决方案。其设计注重操作的便捷性和测量的稳定性，适用于质量控制、研发分析等多种场景。

产品细节与用途

LIN系列的核心特点在于其双技术引擎。共聚焦技术适用于测量陡峭侧壁和粗糙表面，而白光干涉技术则在测量平坦或轻微起伏的超光滑表面时表现出色。用户可根据样本特性在软件中切换测量模式，或使用自动模式由软件智能选择。仪器主体采用桥式结构，样本台位于中心，保证了测量的稳定性。其主要用途包括微电子元件（如硅片、MEMS）、精密光学元件、材料表面（涂层、薄膜、粗糙度）等的三维形貌、台阶高度、粗糙度等参数的测量。

产品性能与用材

LIN系列的测量性能体现在其宽泛的垂直量程和横向分辨率上。桥式框架通常采用刚性较好的金属材料，以抑制环境振动和热漂移的影响。样本台多为钢或合金材质，表面进行处理以保证平整度。光学部件，如物镜和参考镜，被密封在受控的环境中，以减少空气流动和温度波动对干涉测量结果的干扰。仪器的设计考虑了在常规实验室或车间环境下保持稳定工作的能力。

参数表（示例：LIN 基础型号)

测量技术：共聚焦 + 白光干涉垂直扫描 (VSI)
垂直量程：最高可达10 mm (共聚焦)，数毫米 (VSI)
横向分辨率：与所选物镜相关，可达亚微米级
垂直分辨率：亚纳米级 (VSI 模式)
物镜转盘：通常配置4-5个物镜，自动切换
样品台：尺寸约 200 x 200 mm，手动或电动控制

使用说明要点

操作LIN系列轮廓仪，首先需将样本平稳放置于样品台。启动配套的SensoMAP软件，根据样本表面特性选择合适的物镜和测量模式（共聚焦或VSI）。通过软件控制镜头聚焦，找到清晰图像后，设定垂直扫描的起始和结束位置。随后启动自动测量程序，仪器将完成扫描并重建三维形貌。最后，利用软件内置的分析工具进行粗糙度、台阶高度、体积等参数的提取。

总结

Sensofar LIN系列通过集成两种光学测量技术，提供了一个适应多种测量需求的经济型平台。其结构设计和材料选择着眼于日常使用的稳定性和易用性，为表面形貌分析工作提供了支持。