Sensofar三维测量轮廓仪双技术引擎解析

产品简介

Sensofar三维测量轮廓仪双技术引擎解析
Sensofar LIN系列是面向工业与实验室环境设计的经济型三维光学轮廓仪。该系列仪器将共聚焦成像和白光垂直扫描干涉（VSI）两种技术集成于一体，提供了在纳米至毫米量程范围内进行非接触式三维形貌测量的解决方案。其设计注重操作的便捷性和测量的稳定性，适用于质量控制、研发分析等多种场景。

产品型号：LIN

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

访问量：71

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三维光学轮廓仪

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Sensofar三维测量轮廓仪双技术引擎解析

Sensofar LIN系列轮廓仪的多功能性，源于其集成的共聚焦和白光垂直扫描干涉（VSI）两种核心技术。理解这两种技术的工作原理和适用场景，有助于用户充分发挥设备的性能。

共聚焦成像技术细节

共聚焦技术通过在光路中引入一个共轭针孔，来排除焦平面以外的杂散光。当物镜对样本进行垂直扫描时，只有处于焦点位置的光线能高效通过针孔被探测器接收。通过记录每个横向坐标点（x, y）上光强达到最大值时对应的垂直位置（z），就可以重建出样本的三维形貌。这种技术对散射性强的表面（如粗糙金属、喷砂表面）和具有陡峭侧壁的结构有较好的测量效果，垂直量程也相对较大。

白光垂直扫描干涉（VSI）技术细节

VSI技术利用低相干性的白光作为光源。当物镜进行垂直扫描时，从样本表面反射的光束与从参考镜反射的光束发生干涉。只有在光程差接近于零的很小范围内，才会出现清晰的干涉条纹。通过算法定位每个像素点干涉条纹对比度最高的z轴位置，即可确定该点的高度值。VSI技术在测量光滑、平坦或轻微起伏的表面时，能实现亚纳米级的垂直分辨率，但在测量高陡坡或大高差结构时可能存在挑战。

双技术协同工作

LIN系列的软件允许用户根据应用需求灵活选择技术。例如，对于既有大范围粗糙区域又有局部光滑台阶的样本，可以先使用共聚焦模式进行快速预览和定位，再切换到VSI模式对关键区域进行高分辨率测量。这种组合策略兼顾了测量效率和细节分辨能力，扩展了仪器的应用范围。

性能表现的考量因素

两种技术的性能均受所选物镜的数值孔径（NA）影响。高倍物镜（高NA）提供更高的横向分辨率，但景深和垂直量程会减小；低倍物镜（低NA）则相反。LIN系列的自动物镜转盘使得在不同视场和分辨率下切换变得便捷。

总结

LIN系列所搭载的共聚焦和VSI技术，构成了互补的测量体系。用户通过理解其原理，可以针对不同的样本特征选择适当的技术模式，从而获得有价值的表面三维数据。

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