Sensofar数据处理：从采集到分析的全流程

产品简介

Sensofar数据处理：从采集到分析的全流程
Sensofar S neox 的测量价值不仅在于数据采集，更通过完善的软件系统实现数据处理、分析与追溯的全流程管理。

产品型号：S neox

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

访问量：50

产品咨询 17701039158

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

三维光学轮廓仪

布鲁克 BEUKER白光干涉光学轮廓仪 Sensofar 仪光新型共聚焦白光干涉仪 SENSOFAR 3D光学轮廓仪 SENSOFAR共聚焦白光干涉仪 SENSOFAR结构光三维轮廓仪 SENSOFAR平面度测量干涉仪 ZYGO三维光学轮廓仪布鲁克三维光学轮廓仪

查看全部产品

Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光学轮廓仪S neox纳米材料研究的适配设计

Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光学轮廓仪S neox 从入门到批量检测

Sensofar：光学3D轮廓仪在深宽比样品测量中的关键技术解析

揭秘EUV光刻核心技术：如何用纳米级测量打造下一代芯片？

详细介绍在线留言

Sensofar数据处理：从采集到分析的全流程

Sensofar S neox 的测量价值不仅在于数据采集，更通过完善的软件系统实现数据处理、分析与追溯的全流程管理。

数据采集阶段，设备通过多技术融合实现高维度数据获取。RGB 三色 LED 光源同步采集形貌与色彩信息，多波长干涉技术同时获取膜厚分布与材料折射率，避免多次测量导致的误差叠加。量子点增强型 CMOS 传感器以 180 帧 / 秒的速度采集信号，结合动态干涉条纹分析功能，可记录材料结构的实时变化数据。采集的原始数据以.sfc 格式存储，同时支持导出为.stl、.mat、.csv 等通用格式，方便后续第三方软件分析。

数据处理依赖智能算法与软件功能。相位解包裹算法提升纵向测量精度至 0.05nm，能精准解析纳米级薄膜的厚度变化。实时环境补偿算法则对采集数据进行振动、温度校正，减少环境干扰影响。SensoSCAN 软件内置多种分析模块，可自动计算粗糙度（Ra、Rq）、台阶高度、孔隙率等参数，生成 2D 轮廓图与 3D 形貌模型。

科研场景下，数据追溯功能尤为重要。软件自动记录每次测量的设备状态参数，包括光源强度、物镜倍率、环境温度、湿度等，与测量数据绑定存储，便于后期追溯实验条件，确保结果可重复验证。工业场景中，数据可与 MES 系统对接，实现检测结果与生产批次的关联管理，助力质量追溯与工艺优化。

数据处理全流程参数表

流程阶段	核心功能	输出结果
数据采集	多技术同步采集	形貌 + 色彩 + 膜厚数据
数据校正	环境补偿 + 相位解包裹	校正后原始数据
数据分析	粗糙度 / 台阶高度计算	2D 轮廓图 + 3D 模型 + 参数报告
数据管理	格式导出 + 条件追溯	多格式文件 + 关联参数日志