SensofarS lynx2：光学轮廓仪平台简介
Sensofar S lynx系列是设计用于工业与研发环境的三维光学轮廓仪平台。该平台将共聚焦成像和白光垂直扫描干涉（VSI）等光学测量技术集成于一体，旨在提供一种非接触式的表面三维形貌测量方案。其设计思路侧重于测量的效率和操作的流畅性，适用于生产质量控制、实验室研发等场合。S lynx的核心在于其多技术引擎。平台允许在同一系统中使用共聚焦技术和白光干涉VSI技术。共聚焦技术有助于测量具有陡峭侧壁或散射性强的表面，而VSI技术则适用于测量平坦或轻微起伏的光滑表面。用户可根据样本特性在软件中切换测量模式。仪器采用一体式结构，光学头与样品台集成在稳固的机座内。其主要用途包括半导体、微电子元件、材料涂层、精密光学等产品的三维形貌、粗糙度、台阶高度等参数的量化分析。
S lynx的性能体现在其测量的重复性和效率上。仪器外壳主要采用金属材料，为内部核心光学部件提供保护并抑制外部振动的影响。样品台通常为金属材质，保证承载样本时的稳定性。光学路径经过密封设计，以减少空气流动和灰尘的影响。自动化的部件如物镜转盘和滤光轮，其结构设计考虑了长期使用的耐用性。
样品台：电动平台，行程可达 200 x 200 mm
操作S lynx时，首先将样本平稳放置于样品台。启动SensoMAP软件，软件界面会引导用户进行初始化。通过实时图像选择观察区域，并根据样本表面特性选择测量模式和物镜。设定垂直扫描范围后，可启动自动测量序列。仪器将完成扫描并重建三维形貌数据。后续可利用软件丰富的分析工具进行参数计算和结果导出。Sensofar S lynx平台通过集成多种光学测量技术，旨在满足不同的三维表面测量需求。其一体式结构和自动化设计，为使用者提供了从测量到分析的工作流程。
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