Sensofar 白光干涉仪测量技术原理探讨

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Sensofar 白光干涉仪测量技术原理探讨
Sensofar S lynx轮廓仪的功能多样性，建立在共聚焦和白光垂直扫描干涉（VSI）这两种核心测量技术之上。理解这两种技术的基本原理和适用条件，有助于用户在实际应用中选择合适的模式。

产品型号：lynx2

更新时间：2025-10-13

厂商性质：代理商

访问量：54

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Sensofar 白光干涉仪测量技术原理探讨

Sensofar 白光干涉仪测量技术原理探讨

Sensofar S lynx轮廓仪的功能多样性，建立在共聚焦和白光垂直扫描干涉（VSI）这两种核心测量技术之上。理解这两种技术的基本原理和适用条件，有助于用户在实际应用中选择合适的模式。

共聚焦测量技术细节

共聚焦技术的核心在于其光路中设置的针孔。这个针孔与样本焦点处于共轭位置，能有效阻挡非焦平面的散射光。当物镜沿Z轴进行扫描时，系统记录下每个XY坐标点光强达到最大值时的Z位置。通过这种方式，可以逐点重建出样本表面的三维高度信息。这种技术对光散射较强的表面，如粗糙的金属、陶瓷或具有陡峭几何形状的结构，有较好的测量效果，其垂直测量范围也相对宽泛。

白光垂直扫描干涉（VSI）技术细节

VSI技术利用白光光源相干长度短的特性。当光束分光后，一束光照射样本表面，另一束光照射参考镜。反射光汇合后会产生干涉，但只有在两束光的光程差接近零的很小范围内，才会出现清晰的干涉条纹。通过垂直扫描，并利用算法找到每个像素点干涉条纹对比度最高的Z轴位置，即可确定该点的高度。VSI模式在测量光学光滑、平坦或缓变的表面时，能提供出色的垂直分辨率。

技术的协同与选择

S lynx的软件能够自动或根据用户指令在不同技术间切换。例如，对于同时包含光滑区域和粗糙区域的复杂样本，可以先使用共聚焦模式进行快速大范围测量和定位，再针对关键的光滑区域切换至VSI模式进行高分辨率细节捕捉。这种灵活性使一台设备能够应对多种测量挑战。

性能关联因素

两种技术的实际表现均与所选物镜的数值孔径（NA）密切相关。高NA物镜提供更高的横向分辨率，但景深和工作距离会减小。S lynx的自动物镜转盘使得针对不同视场和分辨率需求进行切换变得简便。

总结

S lynx所搭载的共聚焦和VSI技术，构成了互补的测量体系。用户通过理解其工作原理和特点，可以根据具体的样本表面特性，做出适当的技术选择，从而获取有效的三维形貌数据。

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