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认识布鲁克三维光学轮廓仪光学显微镜

产品简介

认识布鲁克三维光学轮廓仪光学显微镜
布鲁克ContourX-500三维光学轮廓仪是一款用于表面形貌测量的非接触式测量仪器。

产品型号:ContourX-500
更新时间:2025-10-13
厂商性质:代理商
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认识布鲁克三维光学轮廓仪光学显微镜

布鲁克ContourX-500三维光学轮廓仪是一款用于表面形貌测量的非接触式测量仪器。它基于白光干涉技术,能够对从超光滑到粗糙等多种表面进行三维形貌重建和定量分析。该仪器在研发、质量控制和失效分析等领域有广泛的应用。

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产品细节与用材:
ContourX-500的设计注重稳定性和易用性。其主体结构采用刚性金属框架,内部光学元件被精密地固定在稳固的基座上,以减小环境振动和温度波动对测量结果的干扰。仪器外壳由工程塑料和金属构成,既保证了仪器的轻便性,也提供了必要的物理保护。样品台通常采用硬质阳极氧化铝材质,兼具耐磨性和轻量化特点。标准载物台尺寸适用于多种样品,并可选配不同尺寸的载物台以适应更大或特殊形状的样品。

产品性能与用途:
该仪器的核心性能在于其非接触式测量能力,能够在不损伤样品表面的情况下,获取高保真的三维表面数据。它适用于测量表面粗糙度、台阶高度、平面度、体积、表面积等多种参数。无论是半导体晶圆的膜厚测量,还是机械零件的磨损分析,或是光学元件的面型检测,ContourX-500都能提供有价值的量化数据。

使用说明:
操作流程通常包括以下几个步骤:首先,将样品平稳放置在载物台上;其次,通过内置的彩色摄像机进行快速对焦和观测,选择感兴趣的测量区域;然后,设置合适的扫描参数,启动自动测量序列;最后,利用仪器配套的分析软件对获取的三维数据进行可视化和量化分析。整个流程设计得较为直观,旨在提升用户的操作效率。

参数表概览:

  • 型号: ContourX-500

  • 垂直测量范围: 最高可达10mm(取决于物镜)

  • 垂直分辨率: 可达0.1nm

  • 水平视野: 依赖于所选物镜(例如,0.5倍物镜视野可达约14mm x 14mm)

  • 测量技术: 白光干涉垂直扫描(VSI)和相移干涉(PSI)

  • 平台尺寸: 标准配置200mm x 200mm

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