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布鲁克三维光学轮廓仪白光干涉原理ContourX-500的性能基础在于其采用的白光干涉技术。
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布鲁克三维光学轮廓仪白光干涉原理
产品细节与用材：
ContourX-500的性能基础在于其采用的白光干涉技术。理解这一技术有助于用户更好地发挥仪器的潜力。白光干涉，又称相干扫描干涉术，利用宽谱白光光源产生的短相干性，通过垂直扫描样品，精确地定位并记录每个像素点的最大干涉信号位置，从而重建出整个表面的三维形貌。
产品细节：
仪器内部集成了一个稳定的白光光源，光线通过分光镜被分成两路：一路射向参考镜，另一路射向被测样品。两路光反射回来后相遇发生干涉。干涉信号被高分辨率的CCD相机捕获。仪器核心的压电陶瓷扫描器带动物镜或参考镜进行纳米级精度的垂直运动，在整个扫描范围内逐层采集干涉图像。
产品性能：
这种技术使得ContourX-500能够适应多种表面反射率，从高反光的金属表面到低反光的黑硅或高分子材料，通过调整光强和算法，均能获得有效的测量数据。其优势在于大范围的垂直测量能力与纳米级垂直分辨率的结合，使其既能测量较大的台阶和形状，也能分辨出细微的表面起伏。
使用说明：
在软件操作中，用户可以根据样品特性选择不同的干涉模式。对于粗糙表面或有大台阶的样品，使用垂直扫描干涉模式；对于超光滑表面，则可以使用相移干涉模式以获得更高的垂直分辨率。正确选择扫描速度和采样密度，是平衡测量速度和数据质量的关键。
参数表补充：
光源： 白光LED光源
扫描器： 闭环控制压电陶瓷扫描器
探测器： 高分辨率CCD相机
标准物镜： 多种倍率可选（如2.5倍，5倍，10倍，20倍，50倍等）
软件分析功能： 包括粗糙度、台阶高、翘曲、体积、功率谱密度等分析模块。
布鲁克三维光学轮廓仪白光干涉原理