ZYGO3D光学轮廓仪技术参数与性能解析

ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪以相干扫描干涉技术（CSI）为核心，通过纳米级垂直分辨率与亚微米横向分辨率，实现从超光滑到微粗糙表面的三维形貌测量。其技术参数与性能特点如下：

技术参数详解
设备采用模块化设计，垂直分辨率优于0.1纳米，可精准捕捉薄膜厚度、台阶高度等微观特征；横向分辨率通过50倍物镜可达0.52微米，满足精密加工部件的轮廓分析需求。垂直测量范围覆盖0.1μm至10mm（视配置），扫描速度范围为10.7μm/sec至171μm/sec，适应不同测量场景的效率要求。表面形貌重复性≤0.15纳米，确保多次测量结果的一致性。物镜系统支持1.0X至50X倍率选择，搭配百万像素相机与长寿命LED光源，实现高分辨率成像与稳定照明。

性能特点分析
ZeGage Pro的核心理念是“稳定、耐用、精准"。光学系统采用低色散玻璃与多层抗反射膜，减少光线色散与反射损耗；机械结构选用高强度铝合金框架与不锈钢台面，兼具轻量化与高刚性，抵抗环境振动干扰。压电扫描单元采用高性能陶瓷，实现纳米级精准位移，长期使用性能衰减缓慢。设备支持手动或电动XY平台，行程可选100mm×100mm或200mm×200mm，适配不同尺寸样品。

应用场景举例
在光学制造领域，ZeGage Pro可测量透镜面型误差、镀膜表面质量；半导体行业中，可评估晶圆表面粗糙度、薄膜厚度；材料科学领域，可分析金属、陶瓷的表面纹理与磨损情况。其非接触式测量特性避免了对脆弱样品的损伤，适用于科研机构与工业质检场景