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ZYGO 3D光学轮廓仪用材优势与结构设计ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪在用材选择与结构设计上深度聚焦“稳定、耐用、精准"三大核心目标，通过优质材料与成熟技术的结合，为各行业测量任务提供可靠支撑。
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ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪在用材选择与结构设计上深度聚焦“稳定、耐用、精准"三大核心目标，通过优质材料与成熟技术的结合，为各行业测量任务提供可靠支撑。
性能特点分析
ZeGage Pro的核心理念是“稳定、耐用、精准"。光学系统采用低色散玻璃与多层抗反射膜，减少光线色散与反射损耗；机械结构选用高强度铝合金框架与不锈钢台面，兼具轻量化与高刚性，抵抗环境振动干扰。压电扫描单元采用高性能陶瓷，实现纳米级精准位移，长期使用性能衰减缓慢。设备支持手动或电动XY平台，行程可选100mm×100mm或200mm×200mm，适配不同尺寸样品。
应用场景举例
在光学制造领域，ZeGage Pro可测量透镜面型误差、镀膜表面质量；半导体行业中，可评估晶圆表面粗糙度、薄膜厚度；材料科学领域，可分析金属、陶瓷的表面纹理与磨损情况。其非接触式测量特性避免了对脆弱样品的损伤，适用于科研机构与工业质检场景
应用价值体现
在光学制造领域，低色散镜片与稳定光源确保干涉信号质量，助力透镜面型误差、镀膜表面变化等参数的精准测量；在半导体行业，高精度压电扫描单元与不锈钢台面配合，可实现晶圆薄膜厚度、光刻胶图形台阶高度的纳米级测量；在材料科学领域，密封外壳设计与环境控制舱搭配，能将温度波动控制在±0.5℃、湿度波动控制在±2%，为生物材料、光学晶体等对环境敏感的样品提供稳定测量环境。
综上，ZeGage Pro通过科学的用材选择与合理的结构设计，在稳定性、耐用性与精准性上达成平衡，为科研与工业领域的表面形貌测量需求提供坚实保障。