布鲁克光学轮廓仪三维测量新维度

布鲁克光学轮廓仪三维测量新维度

ContourX-200是布鲁克推出的台式三维光学轮廓仪，采用白光干涉（WLI）技术实现非接触式表面形貌测量。其核心配置包括5百万像素摄像头与电动XY载物台，支持2D/3D高分辨率测量。设备垂直分辨率优于0.01nm，水平分辨率达0.5μm（Sparrow准则），扫描量程≤10mm，可精准捕捉微米级结构变化。机身采用轻量化合金框架，搭配可拆卸防尘盖板，适配车间环境。光学镜头经多层增透膜处理，减少表面反射干扰，确保成像清晰。样品台配备弹性硅胶夹具，兼容金属、塑料、陶瓷等多材质电子件，避免划伤敏感表面。软件系统集成Vision64与VisionXpress，支持ISO 25178等标准分析，满足半导体、MEMS、医疗设备等领域的质量控制需求。

1. 产品细节与性能：

• 采用白光干涉（WLI）技术，具有高Z轴分辨率（<0.01nm）和水平分辨率（0.38μm Sparrow准则，0.13μm带AcuityXR®）。

• 配备5百万像素摄像头和电动XY载物台，支持2D/3D高分辨率测量。

• 最大扫描量程≤10mm，垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm（Sparrow准则），台阶高度准确性<0.75%，重复性<0.1% 1sigma。

• 样品反射率范围0.05%到100%，最大样品高度≤100mm，XY平台行程150mm。

• 防震设计稳定，工作温度15-30℃，适应电子车间环境。

2. 用材与结构设计：

• 机身采用轻量化合金框架，防尘盖板可拆卸，减少粉尘影响。

• 光学镜头使用高透光率玻璃，多层增透膜处理，减少反射光干扰。

• 样品台设计有弹性硅胶夹具，保护样品表面，适应不同形状的元器件。

3. 型号与用途：

• 属于ContourX系列，型号为ContourX-200，适用于半导体、眼科、医疗设备、MEMS、摩擦学等领域。

• 支持多种国际标准（如ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287）的定制化分析报告。

• 应用于精密电子件、微型传感器、PCB板线路、连接器引脚等检测，以及科研和工业生产中的表面形貌分析。

4. 操作说明与维护：

• 操作面板防水防油，适应车间环境。

• 支持手动与半自动模式，适应不同样品切换和批量检测需求。

• 软件系统为Vision64和VisionXpress，支持自动化功能如自动拼接、网格自动化、自动对焦等。

• 维护建议包括定期清洁光学镜头和样品台，性能验证和校准，放置在洁净、干燥、无强气流和振动环境中。

5. 参数表：

• 垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm，最大扫描量程≤10mm，台阶高度准确性<0.75%，重复性<0.1% 1sigma，样品反射率0.05%-100%，样品高度≤100mm，XY平台行程150mm，重量67kg，尺寸480mm(W)x604mm(D)x754mm(H)。

布鲁克光学轮廓仪三维测量新维度