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了解ZYGO 3D光学轮廓仪ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光学轮廓仪，主要用于对表面形貌进行非接触式的测量和分析。它基于相干扫描干涉技术，能够提供表面的三维形貌数据。这款仪器适用于实验室和工业环境，为研发和质量控制提供了一种表面测量的方式。
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ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光学轮廓仪，主要用于对表面形貌进行非接触式的测量和分析。它基于相干扫描干涉技术，能够提供表面的三维形貌数据。这款仪器适用于实验室和工业环境，为研发和质量控制提供了一种表面测量的方式。
在产品设计上，ZeGage Pro采用了一体化的结构，将光学系统、电子控制系统和内置计算机集成在一个紧凑的机身内。这种设计减少了外部环境振动和气流对测量结果的干扰，同时使得仪器便于移动和安装。仪器的外壳主要采用金属材料，保证了结构的稳固性，内部光学元件则安装在经过设计的隔振平台上，以维持光学路径的稳定性。
ZeGage Pro的用途广泛，可用于测量各种材料和表面的粗糙度、台阶高度、形状轮廓、体积等参数。它适用于半导体、光学薄膜、材料科学、精密制造等多个领域。例如，在光学元件生产中，可用于检测透镜的表面质量；在半导体行业，可用于测量晶圆的翘曲度和薄膜厚度。
仪器的操作通过随机附带的MetroPro软件完成。该软件提供了从仪器控制、数据采集到结果分析的全套功能。用户可以通过软件选择测量模式、设置扫描参数、实时预览样品，并对采集到的三维数据进行多种分析，生成符合国际标准的测量报告。
参数表示例：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ZeGage Pro (根据配置有多种型号) |
| 测量技术 | 相干扫描干涉术 |
| 垂直测量范围 | 可达数毫米（取决于物镜） |
| 垂直分辨率 | 可达亚纳米级 |
| 视野 | 取决于物镜倍数（如0.5x至50x） |
| 平台尺寸 | 提供多种规格的样品台选项 |
| 数据接口 | 千兆以太网 |
| 软件 | MetroPro |
使用ZeGage Pro时，需要将仪器放置在稳固的工作台上，并连接电源和网络。开机后，通过计算机上的软件进行操作。放置样品时，需确保样品表面清洁，并平稳放置在样品台上。根据样品的反射率和表面特性，在软件中选择合适的测量模式和参数，即可开始自动测量。测量完成后，数据会自动传输至软件进行分析。
