当前位置：
产品分类
上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
服务热线
17701039158
产品中心
PRODUCTS CNTER
产品简介
ZYGO 3D光学轮廓仪的核心技术与工作原理ZeGage Pro的核心技术是相移干涉和相干扫描干涉术。这是一种通过光波的干涉现象来探测表面微观形貌的技术。理解其工作原理，有助于用户更好地操作仪器并获得可靠的测量数据。
相关文章
ZeGage Pro的核心技术是相移干涉和相干扫描干涉术。这是一种通过光波的干涉现象来探测表面微观形貌的技术。理解其工作原理，有助于用户更好地操作仪器并获得可靠的测量数据。
当仪器内部的光源发出的光束通过分光镜后，被分为两路：一路射向参考镜，另一路射向被测样品表面。两束光反射回来后相遇，由于光程的差异，会产生干涉现象。如果样品表面存在高低起伏，那么对应点的光程差就会发生变化，从而导致干涉条纹的移动。ZeGage Pro的探测器会记录下在整个扫描过程中每一像素点的光强随扫描位置变化的信号，即干涉信号。
通过对每个像素点的干涉信号进行算法处理，可以精确地确定出该点光强最大时所对应的扫描位置，从而计算出该点相对于参考镜的高度。最终，将所有像素点的高度信息组合起来，就构成了样品表面的三维形貌图。这种方法的测量精度与光源的波长紧密相关，因此能够实现亚纳米级别的垂直分辨率。
ZeGage Pro在设计上考虑了测量的便利性。它内置了PZT（压电陶瓷 transducer）扫描器，能够以较高的重复性进行精密的垂直扫描。同时，仪器集成了自动光强控制功能，可以根据样品反射率的差异自动调整光源亮度，避免信号过饱和或不足，从而扩展了可测样品的范围，从高反光金属到低反光黑色材料均可适应。
这种非接触的测量方式不会对样品表面造成划伤或污染，对于柔软、易损或珍贵的样品而言，是一种合适的测量选择。此外，由于测量速度快，可以在短时间内完成大面积扫描，有助于提高检测效率。了解其技术原理，用户就能理解为何在测量前需要进行光强调整、为何要选择适当的扫描范围，从而在操作中做出合理的参数设置。
