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ZYGO 3D光学轮廓仪的硬件配置与用材

产品简介

ZYGO 3D光学轮廓仪的硬件配置与用材
ZeGage Pro的硬件设计注重稳定性和耐用性,其内部构造和材料选择旨在为精密测量提供一个可靠的基础。

产品型号:ZeGage Pro
更新时间:2025-10-13
厂商性质:代理商
访问量:29
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ZYGO 3D光学轮廓仪的硬件配置与用材

ZeGage Pro的硬件设计注重稳定性和耐用性,其内部构造和材料选择旨在为精密测量提供一个可靠的基础。

光学系统与主体结构: 仪器的核心光学系统被密封在一个金属外壳内。金属机身的采用,一方面提供了足够的机械强度,保护内部精密的光学部件;另一方面,金属材料的热膨胀系数相对可控,有助于在环境温度波动时维持整个系统尺寸的稳定性。内部的光学平台通常采用低热膨胀系数的材料制成,并配有隔振设计,用以隔离地面振动和外部机械干扰。


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光源与探测器: ZeGage Pro使用LED作为照明光源。LED光源具有寿命长、发热量低、稳定性好的特点,有助于保证长期测量的重复性。探测器则是一台高分辨率的CMOS相机,负责捕捉干涉条纹图像。相机的像素数量决定了单次测量视野内的横向数据点密度,影响着测量的横向分辨能力。

物镜与转盘: 仪器配备了一个可自动切换的物镜转盘。用户可以根据测量需求选择不同放大倍率的物镜,例如2.5x、5x、10x、20x等。低倍物镜提供较大的视野,用于观测整体形貌;高倍物镜则提供较小的视野和更高的横向分辨率,用于观察表面细节。物镜的接口为标准设计,具有良好的通用性。

样品台与机械结构: 样品台用于承载和定位样品。ZeGage Pro可配置不同尺寸和承载能力的样品台。样品台在X、Y方向的移动通常由电机驱动,可以实现自动定位和多点测量。导轨和丝杠等机械部件采用了一定的工艺标准,以确保运动的平直度和定位的重复性。

集成式计算单元: 仪器内部集成了一台工业计算机,负责控制硬件运行和进行初步的数据处理。这种一体化的设计简化了外部连接,用户只需通过一根网线将仪器与办公电脑连接,即可进行远程控制和数据传输,减少了外部电脑性能波动对测量系统可能产生的影响。

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