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ZYGO 3D光学轮廓仪的软件功能与分析能力ZeGage Pro的性能发挥离不开其配套的MetroPro软件。该软件是仪器的控制中枢和数据分析平台，其功能设计考虑了从初学者到经验丰富的工程师的不同需求。
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ZeGage Pro的性能发挥离不开其配套的MetroPro软件。该软件是仪器的控制中枢和数据分析平台，其功能设计考虑了从初学者到经验丰富的工程师的不同需求。
在测量控制方面，软件界面提供了直观的仪器状态显示和参数设置面板。用户可以进行实时视频预览，方便快速地找到待测区域。软件支持自动对焦、自动光强调节和自动扫描范围查找，这些自动化功能降低了操作门槛，提高了设置效率。对于复杂的测量任务，用户可以手动设置扫描长度、采样密度等参数，以满足特定的测量要求。
在数据分析方面，MetroPro软件提供了一系列强大的处理工具。基本处理包括调平、剔除异常点以及选择不同的参考平面。软件内置了符合ISO 25178等一系列国际标准的分析参数，可以一键计算表面的粗糙度（Sa、Sq）、波纹度、平面度、台阶高度、体积等一系列参数。
软件的高级分析功能还包括：纹理和纹路方向分析、功率谱密度分析、孔隙率分析等。用户可以对三维形貌数据进行截面分析，获取任意线条的轮廓曲线。所有分析结果都可以通过多种图形方式呈现，如三维形貌图、二维等高线图、伪彩色图等，使得表面特征一目了然。
此外，软件支持测量模板的创建和批量处理。对于重复性检测任务，用户可以创建一个包含所有测量和分析步骤的“配方"，后续只需加载该配方，软件即可自动完成对多个相同样品的测量和报告生成，极大地提升了检测流程的效率和数据的一致性。测量报告可以自定义格式，并直接导出为PDF、Excel等通用文件格式，便于数据归档和共享。
