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ZYGO 3D光学轮廓仪的使用与维护要点正确的操作和定期的维护是保证ZeGage Pro长期稳定运行和测量数据可靠性的重要环节。
正确的操作和定期的维护是保证ZeGage Pro长期稳定运行和测量数据可靠性的重要环节。
使用环境要求： 仪器应放置在清洁、干燥、无腐蚀性气体的环境中。工作台需要稳固，以尽可能减少振动。环境温度应保持稳定，避免阳光直射和空调出风口的直接吹拂，剧烈的温度波动会影响测量的稳定性。
开机与准备： 开机前，检查电源线和网线连接是否牢固。开机后，系统会进行自检，建议预热一段时间（如30分钟），让光学系统和光源达到稳定状态。每次测量前，检查样品台是否清洁，样品是否固定稳妥。
测量流程简述：
放置样品： 轻拿轻放，避免碰撞物镜和样品台。
软件操作： 打开MetroPro软件，连接仪器。使用实时视频找到待测区域。
选择物镜： 根据所需视野和分辨率，通过软件切换合适的物镜。
调整光强： 使用软件的自动或手动光强调节功能，确保干涉条纹清晰且信号强度适中。
设置参数： 设置扫描长度和采样间隔。对于不熟悉的样品，可先使用自动扫描功能。
开始测量： 点击开始，仪器将自动完成扫描。测量过程中应避免触碰工作台。
数据分析： 测量完成后，在软件中使用相应的工具进行处理和分析，并保存数据和报告。
日常维护：
清洁： 定期用软毛刷或吹气球清除样品台和仪器外部的灰尘。物镜镜片是精密光学部件，如有污染，需使用专用的镜头纸和清洁剂，按照规范轻轻擦拭。
校准： 为保证测量精度，建议按照厂家推荐的周期，使用标准参考件（如阶梯高度标准板）对仪器进行垂直标定和横向标定。
存放： 长期不使用时，应盖上防尘罩，并将仪器存放在符合环境要求的地方。
遵循这些操作和维护指南，可以有效延长ZeGage Pro的使用寿命，并确保其始终处于合适的工作状态
